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  • 真空計

    vacuum gauge

    [目次:装置]

    真空圧力を測定するための計器。自動排気のシーケンスを制御する場合にはピラニ真空計やペニング真空計が用いられるが、スパッタイオンポンプは超高真空用の真空計としても使えるので、電子銃部の真空モニターあるいは高電圧印加のインターロック用として用いられる。

  • 電離真空計

    ionization gauge

    [目次:装置]

    高電圧を掛けたときの気体の電離を利用して、生成されたイオンの数から圧力を測定する真空計。放電を利用したペニング真空計、熱電子による電離を利用した熱陰極電離真空計があるが、単に電離真空計といった場合、後者を指すことが多い。

  • ピラニ真空計(ピラニゲージ)

    Pirani gauge

    [目次:装置]

    真空中で通電加熱された金属線からの放熱量が圧力によって変わり、電気抵抗が変わる現象を利用した真空計。測定可能圧力範囲は大気圧~10-1Paで、SEMで真空排気系の制御に使われる。

  • ペニング真空計(ペニングゲージ)

    Penning gauge

    [目次:装置]

    真空中での放電現象を利用した電離真空計。永久磁石による強磁界中での放電現象(ペニング放電)を利用しているため、ある程度の高真空でも使うことが可能である。測定可能圧力範囲は10-3~1Paである。

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