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  • 可動絞り

    movable aperture,variable aperture

    [目次:装置]

    真空外から孔径の切替、位置調整が可能な絞り。SEMの場合、このような機能が必要な絞りは、対物レンズ絞りだけであるから、可動絞りと言うと一般に対物レンズ絞りを意味する。

  • 固定絞り

    fixed aperture

    [目次:装置]

    レンズ系の絞りの内、可動式ではなく固定されているものの名称。一般に孔径が大きく、分解能に関する限り重要度は若干低い。

  • 絞り

    aperture

    [目次:装置]

    レンズの収差を小さくする目的で、近軸電子線のみが通過できるように、金属の薄板に円形の開口部を設けたもの。収差を小さくするために孔径を小さくするとプローブ電流は減少する。真空外から動かすことができる可動絞りと、動かすことのできない固定絞りがある。

  • 対物レンズ絞り

    objective-lens aperture,OL aperture

    [目次:装置]

    対物レンズに入射する電子線の内、光軸近傍の電子線だけを通して、それ以外を遮蔽する目的で使用される絞り。孔径が小さい絞りを使うと球面収差や色収差が小さくなり、電子プローブ径は小さくなると同時に焦点深度も深くなるが、プローブ電流は少なくなる。ただし、孔径が小さすぎると回折収差が大きくなり、電子プローブ径は大きくなるので、最適な孔径がある。孔径が大きい絞りを使うとプローブ電流は多くなるが、収差のため電子プローブ径は大きくなり、焦点深度も浅くなる。絞り孔径の切替だけではなく、軸合わせのための位置調整ができるようになっている。

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