1見つかりました

  • 自動欠陥分類

    ADC automatic defect classification

    [目次:その他]

    欠陥レビューSEMの機能の一つ。自動欠陥レビューによって得られたSEM 像をもとにして、自動的に欠陥を分類することができる。

説明に「」が含まれている用語