キーワード「蒸着源」の検索結果
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蒸着源
evaporation source
[目次：試料作製]
真空蒸着を行うときの蒸着材料。材料そのものを意味したり、あるいは、その保持材を含めて言うことが多い。カーボンの場合は材料そのものを成形して用い、金、金パラジウム、白金パラジウム、アルミニウム等の場合は、タングステン線をV形あるいはバスケット形にして保持する。
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真空蒸着を行うときの蒸着材料。材料そのものを意味したり、あるいは、その保持材を含めて言うことが多い。カーボンの場合は材料そのものを成形して用い、金、金パラジウム、白金パラジウム、アルミニウム等の場合は、タングステン線をV形あるいはバスケット形にして保持する。