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  • 試料ステージ

    specimen stage

    [目次:装置]

    試料の安定な支持と、試料の水平移動、上下移動、回転、傾斜などの動作がスムーズに行えるようにしたユニット。傾斜機構を持っていることからゴニオメータあるいはゴニオメータステージと呼ばれることもある。試料の支持機構と移動機能のみを持っているので、試料に外力を加えたり、温度変化を与える場合、通常は試料ステージ全体を交換する。

    試料ステージ

  • ドローアウト試料ステージ

    draw-out stage

    [目次:装置]

    引き出し式の試料ステージ。普及形SEMでは、価格の点から試料交換室を持たず、試料室を大気圧にして試料ステージを引き出し、試料交換を行うものが多い。試料交換に時間が掛かるが、大きな試料を扱えるという利点もある。

  • ユーセントリック試料ステージ

    eucentric specimen stage

    [目次:装置]

    ユーセントリックな機能を持った試料ステージ。試料ステージそのものが位置ずれを生じない構造を持っているものと、パーソナルコンピュータ制御で位置ずれを補正するものがある。

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