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試料交換室
specimen-exchange chamber,airlock chamber
[目次：装置]
試料交換をするとき、試料室を大気圧にすることなく試料を出し入れするために設けられて空間。試料室側、大気圧側に仕切り弁があり、試料交換室は予備排気できるようになっている。
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試料交換をするとき、試料室を大気圧にすることなく試料を出し入れするために設けられて空間。試料室側、大気圧側に仕切り弁があり、試料交換室は予備排気できるようになっている。