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試料室
specimen chamber
[目次：装置]
観察対象の試料を置くための空間。鏡筒、試料ステージ、試料交換室、検出器などが取り付けられている他、EDSなどの付属装置を取り付けるための予備ポートが設けられている。試料移動のために広い空間が必要であり、鏡筒を安定に支えるためにも、肉厚の壁で強固に作られている。
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観察対象の試料を置くための空間。鏡筒、試料ステージ、試料交換室、検出器などが取り付けられている他、EDSなどの付属装置を取り付けるための予備ポートが設けられている。試料移動のために広い空間が必要であり、鏡筒を安定に支えるためにも、肉厚の壁で強固に作られている。