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  • 試料汚染(コンタミネーション)

    specimen contamination,contamination

    [目次:理論]

    観察中に電子線照射によって試料表面に汚れが付着する現象。高倍率で観察した後倍率を下げると、高倍率での観察領域に対応した黒い(場合によっては白い)長方形の跡が付くが、スポットモードにすると照射点には白い円形の跡が付く。試料室中の炭化水素系の残留ガス分子が電子線照射によって解離し、試料表面にカーボンの堆積物ができると考えられている。試料が“焼ける”と言われるのは試料汚染の場合が多い。なお、試料そのものが汚れていて汚染源となる場合もある。
    下図左はスポットモードでの試料汚染堆積物の生成のメカニズム、下図右は試料汚染によって中央部が黒くなった様子を示す。

    試料汚染試料汚染(像)

  • 試料汚染防止装置(液体窒素トラップ,コールドトラップ,冷却トラップ)

    anti-contamination device,liquid-nitrogen trap,cold trap

    [目次:装置]

    観察や分析時の試料汚染を減少させるための装置。試料近傍に置かれた金属板を液体窒素で冷却すると、周囲にある炭化水素系ガス分子を吸着し、試料汚染を減少させることができる。金属板は、なるべく試料を包み込むような構造が望ましいが、SEMの場合、比較的大きな試料を自由に扱うことを優先させるため、平板状の構造となってしまい、効果が若干低下する。デュワーの液体窒素が蒸発し、金属板の温度が上がると試料汚染が急激に増加するので、一定の時間間隔で液体窒素を補給することが重要である。

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