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  • 集束レンズ(コンデンサレンズ)

    CL condenser lens

    [目次:装置]

    電子銃と対物レンズの間に置かれたレンズ。電子プローブ径とプローブ電流の制御に用いられる。下図に示したように、励磁を変えると、電子源の像の大きさが変わると同時に対物絞りでカットされる電子の量も変わる。この結果、電子プローブ径とプローブ電流を変化させることができる。熱電子銃およびショットキー電子銃の場合は、広範囲のプローブ電流の制御を行うため、一般に2段集束レンズ系が使われる。熱電子銃の場合はクロスオーバーを1/1000程度に縮小する必要があるため、縮小率が大きいが、ショットキー電子銃の場合は電子源が元々小さいため縮小率は小さい。一方、FE電子銃の場合は主としてプローブ電流の制御に用いられるが、プローブ電流の可変範囲が小さいため一般に1段の集束レンズが使われる。

    集束レンズ

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