ST-TRIPLE トリプルソースコントローラ

1台の電子銃で2元または3元同時蒸着を行うための電子ビームスイープコントローラです。

特長

JST-Fシリーズ電子銃電源に付属させて使用し、1台の電子銃で3元蒸着を行うことができます。電子ビームは隣接する3点の各ルツボ内へ1サイクル10msの高速周期で照射されます。（るつぼA→るつぼB→るつぼC→るつぼA・・・）

各々のビーム照射時間は、設定出力比（A：B：C）によって決められます。

各照射位置において、スイープ幅、ポジションを設定することができます。

主なJEOL製品の仕組みや応用について、
わかりやすく解説しています。