熱ダメージの多い試料の断面作製を可能にした試料冷却機構付きイオンスライサ™です。
特長
熱に弱い試料の薄膜作製が簡便にできます。冷却保持時間が長く、熱ダメージをしっかり抑えます。
液体窒素冷却によりイオン照射時の試料への熱ダメージを軽減します。
熱に弱い試料のTEM用薄膜作製や断面作製が簡便にできます。
冷却保持時間が長く、ダメージをしっかり抑えます。
液体窒素を入れたまま試料交換が可能です。
最大試料サイズは2.8 mm (長さ) ×1.0 mm (幅) ×0.1 mm (厚さ) となります。
クライオイオンスライサによる応用例
透過電子顕微鏡 (TEM) 観察
走査電子顕微鏡 (SEM) 観察
仕様・オプション
| IB-09060CIS | ||
| イオン加速電圧 | 1 ～ 8kV | |
| 傾斜角 | 最大±6º(0.1ºステップ) | |
| ビーム径 | 500μm(FWHM) | |
| エッチングレート | 5μm/min(加速電圧:8kV、Si換算) | |
| 使用ガス | アルゴンガス | |
| 最大試料サイズ | 2.8mm(長さ)×1.0 mm(幅)×0.1mm(厚さ) | |
| 試料冷却 | 試料ホルダ冷却温度 | -120℃ |
| 冷却到達時間 | １時間 | |
| 冷却保持時間 | 8時間 | |
| 試料取り出し時間 | 30分 | |
| 圧力測定 | ペニング真空計 | |
| 主排気装置 | ターボ分子ポンプ | |
| CCDカメラ | 内蔵 | |
| 寸法・質量 | 本体 | 500mm(W)×600mm(D)×542mm(H)、63kg |
| ロータリーポンプ | 150mm(W)×427mm(D)×230.5mm(H)、16kg | |
| 液晶ディスプレイ | 326mm(W)×173mm(D)×380mm(H)、3.7kg | |
設置条件
| IB-09060CIS | |
| 電源 | 単相AC100∼120V±10%、50/60Hz、500 ～ 600VA |
| 接地端子 | D種接地(100Ω以下) |
| アルゴンガス | 使用圧力：0.15±0.05MPa(1.0 ～ 2.0kg/cm2)
アルゴンガス使用流量：約0.2 ccm 純度：99.9999%以上 ホース接続口: JIS B0203 Rc 1/8
|
| 室温 | 20 ～ 25℃ |
| 湿度 | 60%以下 |
外観・仕様は改良のため予告なく変更することがあります。
装置設置用のテーブルをご準備下さい。
アプリケーション
IB-09060CISに関するアプリケーション
イオンスライサによる試料作製技術4:小さいサイズの試料作製法
イオンスライサによる試料作製技術2：半導体デバイスの試料作製
more info
