世界最速クラスのイオンミリングスピードを実現！
断面試料作製装置クロスセクションポリッシャ「IB-19530CP、IB-19520CCP」に新開発イオンソースを採用した「IB-10500HMSハイスループットミリングシステム」を開発しました。
HMS装着により、断面ミリングレート、1.2mm/hを実現しました。（従来比2.4倍）
さらに大型回転ホルダの使用で幅20mmの平面ミリングも可能になりました。
特長
ハイスループット加工
新開発イオンソースにより断面ミリングレート
1.2mm/h＊2 (従来比2.4倍) 以上
イオンソース電極の最適化および高加速電圧化により、イオンビーム電流密度を向上させました。
新開発のイオンソースは、断面ミリングレート1.2mm/h (従来比2.4倍) 以上を実現しました。
新開発イオンソースの断面ミリングレート
試料：シリコンウエハー
加速電圧：10kV
加工時間：1時間
低融点合金の断面ミリング(冷却)
加速電圧：10kV
加工時間：30分
右のSEM像は、融点150°CのSn-Bi系合金です。低融点金属は加工熱によって融ける可能性があるため、冷却して加工する必要があります。
試料を冷却保持＊3してハイスループット加工することで、短時間でダメージを低減した断面が得られます。
広域平面ミリング ＊1,＊4
より広領域の平面ミリングを実現
試料の広範囲にイオンビームを照射することができるようになりました。
平面ミリングは、試料表面に生じた機械研磨のキズや結晶歪みの除去に有効です。
コンクリートの平面ミリング
加速電圧：10kV
加工時間：20分
幅20mmのコンクリートを広域で平面ミリングしました。
ミリング後では、研磨キズやコンタミネーションが除去され、コンクリートに含まれる石やセメントなどの粒子が明瞭に観察できます。
ハイスループット仕様オプションを搭載したIB-19530CPまたはIB-19520CCPの機能です。
1時間加工、Si換算、エッジ距離100μm
IB-19520CCP搭載機能です。
大形試料回転ホルダーIB-11550LSRHが必要です。
画面キャプチャ等は開発中のものを含みますので、変更となる可能性があります。
関連LINK
仕様・オプション
| ハイスループット仕様 ＊1 | |||
|---|---|---|---|
| 形式 | IB-19530CP+IB-10500HMS | IB-19520CCP+IB-10500HMS | |
| イオン加速電圧 | 2～10kV | ||
| ミリングスピード | 1.2mm/h 以上 (加速電圧10kV)＊2 | ||
| 試料スイング機能 ＊3 | ±30°自動スイングモード、任意角度設定モード | ||
| 自動加工開始モード | ○ | ||
| 自動冷却加工開始モード / 自動室温復帰モード | － | ○ | |
| 試料ステージ冷却到達温度 | － | －120°C以下 | |
| 冷却温度設定範囲 | － | －120～0°C | |
| 試料冷却-100°C到達時間 | － | 60分以内 | |
| 試料冷却保持時間 | － | 8時間以上 ＊4 | |
| 大気非曝露機能 | － | － | |
| 間欠加工モード | イオンビーム照射時間と停止時間を設定可能 (ON: 1～999秒、OFF: 1~999秒) | ||
| 仕上げ加工モード | 自動的に加工条件切り替え | ||
| 広域断面ミリングモード ＊5 | 最大加工幅:8mm (オプション: 広域加工ホルダー IB-11730LMH) | ||
| 広域平面ミリングモード ＊6 | ○ | ||
| 最大搭載試料サイズ | 断面ミリング | 11mm(幅)×10mm(長さ)×2mm(厚さ)(IB-19530CP標準付属試料ホルダー)
11mm(幅)×8mm(長さ)×3mm(厚さ)(IB-19520CCP標準付属試料ホルダー) 25mm(幅)×15mm(長さ)×10mm(厚さ)(オプション: 広域加工ホルダー IB-11730LMH) |
|
| 平面ミリング | 40mm(直径)×15mm(厚さ)(オプション: 大形試料回転ホルダーIB-11550LSRH) | ||
| 試料移動範囲 | X軸: ±6mm、Y軸: ±2.5mm | ||
| 操作法 | タッチパネル、6.5型ディスプレー | ||
| 加工位置合わせ法 | カメラにより試料ステージ上をモニター ＊7
光学顕微鏡下でも加工位置調整可能 |
||
| 位置合わせ用カメラ倍率 | 約×70 (6.5型ディスプレー上) | ||
| 加工観察用カメラ倍率 | 約×20～×100 (6.5型ディスプレー上)
|
||
| 外部モニター出力 |
位置合わせ用カメラと加工観察用カメラを切り替えて外部モニターに表示可能
|
||
| プリセット機能 | 加工条件 (加速電圧、アルゴンガス流量、加工時間、間欠加工）を4組プリセット | ||
| 寸法・質量 | 本体 | 545mm(幅)×550mm(奥行)×420mm(高さ)、約66kg (IB-19530CP+IB-14510MCAM)
690mm(幅)×720mm(奥行)×530mm(高さ)、約75kg (IB-19520CCP) |
|
| ロータリーポンプ | 120mm(幅)×288.5mm(奥行)×163mm(高さ)、約9.3kg | ||
設置条件
| 電源 | 単相AC100~120V、50/60Hz、許容入力電圧変動10%以下、設備定格15A以上 |
|---|---|
| 最大消費電力 | 650VA |
| 接地端子 | D種接地（100Ω以下） |
| アルゴンガス ＊10 | 純度99.9999%以上推奨
使用圧力: 0.1～0.2MPa (1.0～2.0kgf/cm2) ホース接続口: JIS B 0203 Rc 1/4 |
| 室温 | 15～25°C |
| 湿度 | 60％以下 (結露しないこと) |
工場出荷オプションです。
1時間加工、Si換算、エッジ距離 100µm
特許：第4557130号
設定温度が高い程、冷却保持時間は長くなります。
冷却機能と組み合わせて使用可能です。
IB-11550LSRH使用
特許：第4208658号
IB-14510MCAMを装着すると、試料をリアルタイムでモニターすることができます。ミリング中の試料の状態を観察できます。外部モニターはお客様にてご用意ください。
EC-10020VSTを装着すると、外部モニターにカメラ画面を出力することができます。外部モニターはお客様にてご用意ください。
アルゴンガス, ガスボンベ, およびレギュレータはお客様にてご用意ください。
外観・仕様は改良のため予告なく変更することがあります。
カタログダウンロード
IB-10500HMS クロスセクションポリッシャ™ ハイスループットミリングシステム
アプリケーション
IB-10500HMSに関するアプリケーション
関連製品
JSM-IT800 ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡
JSM-IT800は、高分解能観察を実現するための "インレンズショットキーPlus電界放出形電子銃" と次世代型電子光学制御システム "Neo Engine"、高速度元素マッピングを実現するために使いやすさを追求したGUI "SEM Center" に自社製EDSを組込んだシステムを共通のプラットフォームとしています。
SEMの対物レンズをモジュールとして置き換えることで、お客様の様々なニーズに応じた装置を提供します。
JSM-IT800には、対物レンズの違いにより、汎用FE-SEMであるハイブリッドレンズバージョン (HL)、より高分解能観察や分析を可能にするスーパーハイブリッドレンズバージョン (SHL/SHLs、機能の違いにより2バージョン)、半導体試料観察を得意とするセミインレンズバージョン (i/is 、機能の違いにより2バージョン) と5つのバージョンをラインナップしました。
さらに、JSM-IT800には、新しい反射電子検出器であるシンチレーター反射電子検出器 (SBED) と多目的反射電子検出器 (VBED) が搭載可能です。SBEDでは応答性の良い、低加速電圧での材料コントラスト像の取得ができます。VBEDでは、3D、凹凸、材料コントラスト像の取得が出来るため、今まで得られなかった情報の取得やお困りの測定への改善が期待できます。
IB-19520CCP 冷却クロスセクションポリッシャ™ 断面試料作製装置
加工時に試料を液体窒素冷却する事によりイオンビームによる熱ダメージを軽減させる事が出来ます。
冷却保持時間も長く、液体窒素の消費量を抑えた構造になっています。
液体窒素を入れたまま、短時間で試料の冷却、室温戻し、取り外しが可能です。
大気非曝露環境下で、加工から観察までを行う為の搬送機構が付いています。
IB-19530CP クロスセクションポリッシャ™ 断面試料作製装置
IB-19530CP クロスセクションポリッシャ™は、多様化する市場ニーズに応えるべく、マルチパーパスステージを採用し、各種機能ホルダーを交換することで多機能化を実現しました。用途に応じた機能ホルダーを選択することにより、断面ミリングだけではなく、平面ミリング、イオンビームスパッタコーティングなどの機能が拡張できます。
JSM-IT700HR InTouchScope™ 走査電子顕微鏡
毎日使うSEM。だから、使いやすく。
技術革新とともに観察対象は日々小さくなってきています。そのような微細化していく試料を日常的に測定しなければならないという声からJSM-IT700HRは誕生しました。
最高分解能1 nm、最大照射電流300 nAを発揮する電子銃は観察・分析に余裕を感じさせてくれます。
さらに、シンプルな操作にこだわったユーザーインターフェイスとコンパクト設計でありながらも大きな試料室により測定は誰でも自由自在。「見える」よりも「楽に見える」。だから、JSM-IT700HR。
JCM-7000 NeoScope™ ネオスコープ 卓上走査電子顕微鏡
開発の背景と主な特長
卓上走査電子顕微鏡は電機・電子、自動車・機械、化学・薬品を主体としたさまざまな分野で利用が広がっています。研究開発はもちろん、品質管理、物品検査といった製造現場と近接した職種で活用され、近年さらなる作業効率の向上、操作の簡便性、分析や計測性能の強化が求められています。
こうしたニーズに応え、JCM-7000 NeoScope™は、「誰でもSEM/EDSを操作できる」がコンセプトの卓上走査電子顕微鏡（卓上SEM）として開発されました。
光学像を拡大すればSEM像が観察できる「Zeromag」、分析装置を立ち上げなくても観察中の視野の元素が分かる「Live Analysis」、SEM観察中に三次元観察が可能な「Live 3D」等の機能を搭載しました。
光学顕微鏡の隣に一台置けば、異物分析や品質管理を、よりスピーディーに、より詳細におこなうことができます。
more info
