電子プローブマイクロアナライザ (EPMA)
表面の組織及び形態の観察と局所微量元素分析が可能です。
波長分散形X線分光器 (WDS) や軟X線分光器 (SXES) といった検出器を利用することで、通常走査電子顕微鏡 (SEM) で用いるエネルギー分散型検出器 (EDS) よりも詳細な測定結果を得られます。
当社は軟X線分光器をご提案できる世界唯一のメーカーです。
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EPMA
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TECHNOLOGY / CASE STUDY 技術・事例
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