JXA-8530F フィールドエミッション電子プローブマイクロアナライザ(FE-EPMA)

フィールドエミッション電子銃を搭載したEPMA(FE-EPMA)が、PCウィンドウを利用した新操作体系の採用で、生まれ変わりました。
0.1ミクロンオーダーの元素分析を可能にした画期的なFE-EPMAは、JEOLが世界に先駆けて商品化して以来、金属、材料、地質などの諸分野で広く使用され、高い評価を得てきました。そのFE-EPMAが従来の優れたハードウェア性能を継承しつつ、親しみやすいPCベースのオペレーションで使い勝手が向上。
極微小領域の高精度元素分析がよりいっそう身近なものになります。

特長

極微分析の新たな扉を開く鍵

PCオペレーション

EPMAクイックスタート
ユーザーレシピ
「ここを分析」機能
EPMAエクスプローラー
X線像（WDS）リアルタイム合成
EDSアクティブマップ*
新開発、超軽元素用分光素子

全スペクトル同時取込

FE電子銃による高分解能分析

FE電子銃は、汎用的なEPMAに搭載されるWフィラメントやLaB6チップを使用した熱電子放出形電子銃と比較すると、プローブ径を1/2～1/10に絞ることができます。

FE電子銃は、低加速電圧、WDS分析電流範囲 (数nA～数100 nA) でも微小プローブが得られるため、低加速電圧を用いた高いX線空間分解能の分析が実現できます。

「ここを分析」機能、ユーザーレシピ

二次電子像や反射電子像の観察中に、像上の任意の点をクリックするだけでWDSの定性分析・簡易定量分析結果が得られる「ここを分析」機能や、分析条件へのアクセスを簡便にするユーザーレシピ機能を搭載しています。簡単な操作で、FE-EPMAの高い能力を生かした分析が実行できます。

アドバンスドオペレーション

詳細な分析条件の設定も思いのまま。こだわりの分析条件を使って極微小領域の元素分析ができます。また、豊富なアプリケーションと、これまで以上に使いやすいソフトウェアが多角的なデータ解析をサポートします。例えばプローブトラッキングを利用することで、高倍率の面分析はもちろん、連続視野の点分析が、より確実に実行できます。

WD/EDコンバインシステム

JEOL製のWDSとEDSをさらに発展させ、使いやすいWD/EDコンバインシステムを実現しました。微量元素の分析が得意なWDSと、JEOLの分析 SEMで定評あるEDSシステムとの組み合わせは、定量分析や、数万倍のビームスキャンマップおよび広範囲のステージスキャンマップにおいて、効率的なデータ収集に最大限の力を発揮します。

仕様・オプション

分析元素範囲	WDS： (Be※) B～U,EDS： B～U
X線分光範囲	WDS分光範囲： 0.087～9.3 nm, EDSエネルギーレンジ： 20 keV
X線分光器数	WDS ： 1～5基選択、 EDS ： 1基
最大試料寸法	100 mm × 100 mm × 50 mm (H)
加速電圧	1～30 kV (0.1 kVステップ)
照射電流範囲	10-12～ 5×10-7 A
照射電流安定度	± 0.3 % /h
二次電子分解能	3 nm (W.D. 11 mm, 30 kV)
分析条件最小プローブ径	40 nm (10 kV, 1×10-8 A) 100 nm (10 kV, 1×10-7 A)
走査倍率	× 40 ～ × 300,000 (W. D. 11 mm)
走査像解像度	最大 5120 × 3840
カラーディスプレイ	EPMA分析用： LCD 1280 × 1024 SEM操作、EDS分析用： LCD 1280 ×1024