JSM-6010PLUS/LA InTouchScope™ マルチタッチパネル走査電子顕微鏡

新感覚の操作画面とタッチパネルの採用により直観的な操作が可能となった多機能汎用SEMです。EDSによる元素分析は完全にインテグレーションされています。低真空モードも標準搭載されており、絶縁物観察も前処理の必要なく容易に行えます。

特長

操作性

タッチパネル採用で、直感的に操作できます

様々なナビゲーション

試料交換ナビは順番通りにボタンを押して、試料交換がスムーズにできます。
モーター駆動ステージ（オプション）とステージナビゲーションシステム(オプション)を装着すると、視野探しが光学顕微鏡感覚で行えます。
EDSガイド搭載で分析も迷いません(LAのみ)。

LV標準

非導電性試料も前処理なしで観察・分析が行えます。

EDS完全インテグレート

ワンボタンでSEM/EDSの切換をおこなえます。
SEMと同一ウィンドウでEDSの操作ができます。

応用例

標準レシピを使用して、試料に合わせた条件設定で行うことができます。低真空モード標準搭載なので、無処理の試料も標準レシピによる条件設定で観察できます。
標準レシピを使用して撮影した画像の例を示します。

試料：ハエ　二次電子像
加速電圧：10ｋV
撮影倍率：×200

試料：樹脂破面　反射電子立体像
加速電圧：10ｋV
撮影倍率：×1500
低真空モード：50Pa

試料：金属粒子　二次電子像
加速電圧：20ｋV
撮影倍率：×300

試料：基板　反射電子立体像
加速電圧：15ｋV
撮影倍率：×25

仕様・オプション

分解能	高真空モード:　3 nm(30 kV 1) 4 nm(20 kV)、8 nm(3 kV) 15 nm(1 kV) 低真空モード:　4 nm(30 kV 1) 5 nm(20kV)
倍率	× 5 ～× 300,000（画像サイズ128 mm × 96 mmにて）
画像モード	二次電子像、REF像組成像、凹凸像、立体像
低真空圧力	10 ～ 100 Pa
加速電圧	0.5 kV ~ 30 kV *1 (53 段) 0.5 kV ~ 20 kV (43 段)
フィラメント	プリセンタードヘアピン型タングステン
電子銃	完全自動、手動調整可能
コンデンサレンズ	電磁2段ズームコンデンサレンズ方式
対物レンズ	スーパーコニカルミニレンズ
対物絞り	1段、XY微調整つき
非点メモリ	有り
イメージシフト	± 50 μm（作動距離10 mm）
プリセット倍率	5段、ユーザー設定可
試料ステージ	ユーセントリックステージ X : 80 mm Y : 40 mm Z : 5 mm ~ 48 mm 傾斜: -10°~ + 90°、回転: 360°
最大試料寸法	150 mm径
試料交換	ステージ引出し式
画像メモリー	5,120 × 3,840 × 16ビット1枚
画素数	640 × 480、1,280 × 960、 2,560 × 1,920、 5,120 × 3,840
画像処理機能	デジタルズーム、アベレージング、デュアルライブ、スプリットライブ、フレキシブルウィンドウ、信号加算機能擬似カラー、デュアルマグ
測長機能	2点間測長、円測定、線幅測定、角度測定、面積測定、計数（カウント）
比較画面	1画面+SNS画面（オプション*2 ）
ファイル形式	BMP、TIFF、JPEG
画像自動保存	有り
EDS機能*3	スペクトル収集・点分析、定性分析・定量分析元素マッピング、プローブトラッキング
コンピュータ	デスクトップタッチパネルPC
OS	Windows 7
モニター	23形タッチパネル
ネットワーク	イーサーネットワイヤレスLAN （オプション）
標準レシピ	あり
カスタムレシピ	観察条件、試料ステージ、真空モード
自動機能	フィラメント調整、アライメント調整、フォーカス、非点、露出調整
排気系	完全自動、TMP : 1台、RP : 1台

Windows は、米国 Microsoft Corporation の、米国およびその他の国における登録商標または商標です。

主なオプション

加速電圧拡張キット
低真空二次電子検出器
ステージナビゲーションシステム*2
チャンバースコープ
オペレーションキーボード
USB ノブ
可動絞り
モーター駆動ステージ
(2 軸、XYZ3 軸、XYR3 軸駆動)
画像編集ソフト( スマイルビュー)*3
三次元画像ソフトウェア(3D Sight)
ワイヤレスシステム
マルチビューシステム*4
テーブル(750mm 幅、900mm 幅)