特大試料の観察もできる超大形試料室と大形試料ステージを搭載
高精度電子光学系を200mmの大形試料用試料室に搭載した、高性能大形汎用走査電子顕微鏡。多くのユーザーが使用する環境を考慮して開発され、分かりやすく快適な操作を可能にしたソフトを搭載。
仕様・オプション
| 分解能 | 3.0 nm |
|---|---|
| 加速電圧 | 0.31～30kV（55段切換） |
| 倍率 | ×5～300,000 |
| 試料寸法 | 203mmφ（最大） |
| 試料移動 | X方向：125mm Y方向：10mm
Z方向：5～80mm、傾斜：－10゜～70° 回転：360° （５軸モータ駆動） |
アプリケーション
SM-6460_6460LVに関するアプリケーション
走査電子顕微鏡（SEM）でのステレオ（３D）写真の撮影と観察5:ステレオ３Ｄアナグリフ写真集
走査電子顕微鏡（SEM）でのステレオ（３D）写真の撮影と観察4:アナグリフ方式ステレオ写真
走査電子顕微鏡（SEM）でのステレオ（３D）写真の撮影と観察3:ステレオメガネの紹介
走査電子顕微鏡（SEM）でのステレオ（３D）写真の撮影と観察2:ステレオ写真の見かた
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