JSM-6610シリーズ走査電子顕微鏡

観察から分析までシームレス。標準レシピで条件設定も簡単に行えるため、幅広いユーザーのニーズに対応できる熱電子銃タイプの汎用SEMです。5軸モーターステージ標準の大形試料ステージで視野探しも容易です。
幅広いユーザーのニーズに対応できる熱電子銃タイプの汎用SEMです。観察から分析までシームレスです。標準レシピで条件設定も簡単に行えます。5軸モーターステージ標準の大形試料ステージで視野探しも容易です。

特長

操作ナビ

操作ナビ画面に様々なナビゲーションが表示されます。
試料交換手順はフロー式で初めての方でも簡単に試料交換ができます。
ステージグラフィックで視野探しが容易です。
ステージナビゲーションシステム（オプション）を使用すると光学顕微鏡感覚で視野探しができます。
メンテナンスもアニメーションで表示されます。

ステージナビゲーションシステム

標準レシピ

JEOLのノウハウを詰め込んだ標準レシピが搭載されています。
初めてSEMを使われる方でも試料に合った条件を設定できます。

大型ステージ

5軸モーター駆動ステージ標準の大型試料室を搭載しています。
8インチ径×80mm高さの試料を入れることができます。

EDSインテグレーション

SEM画面から分析をスタートすることができます。
EDSも自社製品なので１PCで制御できます。

応用例

大型ステージで大きな試料をそのまま入れることが出来ます。
アウトガスの多い試料も、低真空モードを使用すれば真空引きが可能です。
オプションのチャンバースコープで観察中の試料の状態を確認することが出来ます。
大きなコンクリート塊を観察した例を表示します。

仕様・オプション

分解能	高真空モード　3.0 nm（30 kV）、8 nm（3 kV）、15 nm（1 kV）低真空モード　4.0 nm（30 kV）
倍率	× 5 ～× 300,000（画像サイズ128 mm × 96 mmにて）
プリセット倍率	5段、ユーザー設定可
標準レシピ	有り
カスタムレシピ	観察条件（照射系、画像モード、試料室圧力※1）試料ステージ
画像モード	二次電子像、REF像、組成像※1、凹凸像※1、立体像※1
加速電圧	0.3 kV ～ 30 kV
フィラメント	ファクトリープリセンター形
電子銃	完全自動、手動調整可能
コンデンサーレンズ	ズーム形
対物レンズ	スーパーコニカル形
対物レンズ絞り	3段、XY微調整つき
非点メモリー	有り
イメージシフト	± 50 μm（作動距離10 mm）
自動機能	フォーカス、露出、非点補正
試料ステージ	大形ユーセントリック式5軸モーター駆動 X: 125 mm、Y: 100 mm、Z: 5 mm ～ 80 mm 傾斜: −10°～＋90°、回転: 360°
比較画面（ナビゲータ）	4画面
試料交換	試料室ドアを開けて交換
最大試料寸法	200 mm径
PC	IBM PC/AT 互換機
OS	Windows 7
観察モニター	19形LCD、1または2※2台
画像メモリー	640 × 480画素、1,280 × 960画素、2,560 ×1,920画素、5,120×3,840画素
2種ライブ像表示	有り
フル画面表示	有り
擬似カラー	有り
分割画面表示	2画像、4画像
デジタルズーム表示	有り
デュアルマグ	有り
ネットワーク	イーサーネット
測長機能	有り
画像フォーマット	BMP、TIFF、JPEG
画像自動保存	有り
排気系	完全自動、DP: 1台、RP: 1または2※1台
真空モード切換※1	操作メニュー上、1分以内
低真空圧力※1	10 ～270 Pa
JED-2300 EDS	有り※2（詳細仕様はJED-2300カタログ参照）

主なオプション
反射電子検出器※1
低真空二次電子検出器
エネルギー分散形X線分析装置（EDS）
波長分散形X線分析装置（WDS）
EBSD
エアロック室
ステージナビゲーションシステム
チャンバースコープ
オペレーションキーボード
LaB6電子銃
画像編集ソフト（SMile ViewTM）※2
操作部テーブル（750 mm幅、900 mm幅）