JSM-7401F FE-SEM 超高分解能

絶縁物の直接観察が可能なエネルギーフィルタ付き超高分解能FE-SEM
JSM-7401Fは、高輝度のコニカル形FE電子銃および低収差のコニカル形対物レンズ（セミインレンズ）を組合わせた超高分解能走査電子顕微鏡です。
総合安定性の向上（耐震性、エレクトロニクスの安定度）により、保証分解能1nmが安定して得られ、最高倍率100万倍での観察が可能となりました。また、信号選別機能をあわせ持ち、ナノ構造物の試料表面の特長も得られます。

特長

JSM-7401Fは、高輝度のコニカル形FE電子銃および低収差のコニカル形対物レンズ（セミインレンズ）を組合わせた超高分解能走査電子顕微鏡です。
総合安定性の向上（耐震性、エレクトロニクスの安定度）により、保証分解能1nmが安定して得られ、最高倍率100万倍での観察が可能となりました。また、信号選別機能をあわせ持ち、ナノ構造物の試料表面の特長も得られます。

特長

高安定性

最高倍率100万倍まで観察できます

極低加速電圧で高分解能

最低加速電圧100V、二次電子分解能 1.5nm（1kV・GBモード）

エネルギーフィルタ

ワンタッチで最適条件が得られるNew r-filter

ジェントルビームによる試料表面ダメージのない観察

多様な観察分析に対応

エネルギー分散形X線分析装置（EDS）*

リトラクタブル反射電子検出器^*

インレンズ反射電子検出器*

透過電子検出器（TED）^*

完全自動照射系

加速電圧変更後の機械的軸合わせ不要
対物レンズ絞りの選択･軸合わせ不要
開き角自動最適化レンズ搭載

快適な操作性

1280×1024画素高精細デジタルライブ画像
拡張性の高い大形試料室
モータ駆動ユーセントリックステージ
ステージナビゲーションシステム

清浄な試料観察環境

試料交換室を通しての試料交換
フォアライントラップの組込み
液体窒素トラップ（試料汚染防止装置）^*
ワンアクション試料交換機構

オプション

ジェントルビーム極低加速電圧での高分解能観察

ジェントルビーム（GB）モードは、試料のダメージが小さくなるように入射電子を試料直前で減速し、試料内部への拡散を極力小さくして試料の極表面を観察するモードです。

試料直前で入射電子を減速します。加速された二次電子はNew r-filter内壁に衝突し、二次電子を発生します。

金の蒸着粒子

高分子家結晶（無蒸着）

New r-filter

New r-filterは二次電子制御電極、反射電子制御電極、フィルタ電極を組合わせたユニークなエネルギーフィルタです。試料表面に電子ビームを照射すると、試料表面からさまざまなエネルギーを持った電子が放出されます。JSM-7401Fでは複数の静電場を組合わせることにより、入射電子をレンズ系の中心に維持しながら試料からの二次電子・反射電子を選択検出します。

ワンタッチで最適条件

New r-filterの操作は、分かりやすいメニューウィンドウで行います。
メニューウィンドウ上には、試料の最表面情報から組成情報まで自由に切換えられるようにSE、BE、Sb、Bsなどのボタンが用意されています。Sb、Bsの各々のボタンは、混合する二次電子・反射電子のエネルギー帯を連続的に調整することができ、観察目的によって最適なコントラストを得ることができます。