超高空間分解能、高い安定性、マルチパーパスといった従来の装置で高い評価をいただいてきた性能はそのままに、操作性を大きく向上させ、オペレーターのスキルに依存することなく、常に高いパフォーマンスを発揮するJEOLの新しいフラッグシップFE-SEMです。
特長
Neo Engine（New Electron Optical Engine）
レンズ制御システムと自動機能技術を統合させた新開発の次世代型電子光学制御システムNeo Engine（New Electron Optical Engine）を搭載。電子光学条件を変更しても、光軸のズレがほとんどなく、操作性や観察の精度が大きく向上し、どなたでも容易に装置本来の性能を引き出せます。
JEOLの電子光学技術の結晶と言えるシステムです。
①オート機能の向上
試料：鉱物のCP断面（樹脂包埋）、入射電圧：5kV、検出器：RBED、倍率：×100,000
オート機能は精度が向上しただけではなく、数秒でフォーカスを合わせることが可能になりました。
②倍率精度の向上
試料：測長用試料（MRS5）、加速電圧：10kV、倍率：×50,000
倍率精度も大きく向上し、高精度の測長も可能です。
③エネルギーフィルタの使い勝手向上
試料：名刺、加速電圧：1.5kV、倍率：×3,500
エネルギーフィルタの設定値を大きく変えても、視野やフォーカスのズレがほとんどありません。
GBSH-S(GENTLEBEAM™ Super High resolution Stage bias mode)
GBSHは低加速電圧での分解能を上げる手法です。
新開発のGBSH-Sにより、試料ステージにバイアス電圧を最大5kVまで印加することが可能になりました。これにより、GBSHモードを使用する際も専用のホルダは必要なく、他のモードにスムーズに移行可能です。
GENTLEBEAM™とは試料にバイアス電圧を印加することにより、入射電子に対しては減速、放出電子に対しては加速の作用をもたらします。
新反射電子検出器
新開発の超高感度反射電子検出器を採用し、明瞭なコントラストで観察が可能となりました。従来比で感度が大幅に向上しており、低加速電圧でも高い組成コントラストが得られます。
試料:Cuの断面, 入射電圧：3 kV, 倍率： x10,000, WD： 4.5 mm
新プラットフォーム
オペレーションコンソールをなくした新しい外観デザインにより省スペース化を実現。様々な設置環境に柔軟に対応できます。
新試料交換方式
新設計の試料交換システム（ロードロック）を採用。シンプルな動作で操作ミスを軽減し、スループットを高め、耐久性も向上しました。
ビギナーからエキスパートまで、迅速で確実な試料交換を可能としました。
スマイルナビ
スマイルナビはビギナーが効率よく短期間に基本操作を習得できるように開発された操作ナビゲーションシステムです。フローチャートに従いアイコンをクリックすると、SEM操作画面が連動し、操作をガイドします。
①操作ボタンの強調
スマイルナビのマニュアル上でボタンにマウスカーソルを合わせると、SEMのGUI上の該当ボタンに枠が付きます。
スマイルナビのマニュアル上でボタンをクリックするとSEMのGUIがグレーアウトし、該当ボタンが強調されます。
②写真の表示
スマイルナビのマニュアル上でボタンをクリックすると、その操作ボタンの位置を示す写真を表示します。
③操作動画の表示
スマイルナビのマニュアル上で操作手順を説明した動画が再生されます。
引き継がれる高性能
インレンズショットキーPlus電子銃
インレンズショットキーPlus電界放出形電子銃は、電子銃と低収差コンデンサーレンズの融合をさらに改善することにより、高輝度化を実現しました。
電子銃から発生する電子を効率よく集めることができ、低加速電圧でも数pA～数10nAの照射電流が得られ、対物絞りの交換無しで高分解能観察から高速度元素マッピングやEBSD分析まで行えます。
ACL（開き角最適化レンズ）
ACL（開き角最適化レンズ）は、対物レンズの上方に搭載され、対物レンズの開き角を全電流範囲にわたり自動的に最適化します。これにより、電流量を変えても自動的に入射電子の広がりを調整するため、常に最小のプローブ径が得られます。高分解能観察から各種分析まで、幅広く照射電流を変化させても、スムーズな観察が可能です。
スーパーハイブリッドレンズ
自社開発の電磁場重畳型対物レンズ”スーパーハイブリッドレンズ”を標準搭載することで、磁性体材料から絶縁体試料まで、あらゆるサンプルを超高空間分解能で観察・分析することができます。
検出器システム
最大4検出器での同時信号取得が可能です。
標準搭載のLED（下方検出器）、UED（上方検出器）に加え、オプションでRBEI（リトラクタブル反射電子検出器）、USD（上方二次電子検出器）を取り付けが可能です。
高空間分解能観察
GBSH (GENTLEBEAM™ Super High resolution mode) によって、極低加速電圧でも高分解能観察が可能です。
GENTLEBEAM™とは試料にバイアス電圧を印加することにより、入射電子に対しては減速、放出電子に対しては加速の作用をもたらします。
高空間分解能観察-GBSHによるアプリケーション
酸化物ナノ材料
金属ナノ粒子
低真空機能
低真空機能により絶縁試料であっても観察から分析まで導電コーティングせず簡便に測定可能です。
JSM-7900Fは低真空であっても高い空間分解能を有します。
高倍率観察
ガラス
EDS分析
食品
低真空機能を用いることで絶縁試料であっても用意に帯電を抑制できます。
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開発秘話
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仕様・オプション
| 分解能 | 1.1 nm (0.5 kV)*1、1.0 nm*2
0.7 nm (1 kV)*1、0.7 nm*2 0.7 nm (15 kV)*1、0.6 nm*2 3.0 nm (5 kV、WD: 10 mm、5 nA)*1 *1: Gap method、*2:Edge method |
|---|---|
| 倍率 | ×25 ～ ×1,000,000 |
| 加速電圧 | 0.01 ～ 30 kV |
| 照射電流 | 数 pA ～ 500 nA |
| 検出器（標準） | 上方検出器(UED)、下方検出器(LED) |
| 電子銃 | インレンズショットキーPlus電界放出形電子銃 |
| 開き角最適化レンズ | 組込み |
| 対物レンズ | スーパーハイブリットレンズ/SHL |
| 自動機能 | フォーカス、非点補正、明るさ、コントラスト |
| 長焦点モード(LDF) | 組込み |
| 試料ステージ | フルユーセントリックゴニオメーターステージ |
| 試料移動 | X:70 mm、Y:50 mm、Z:2 ～ 41 mm、傾斜:-5 ～ 70°、回転:360° |
| モーター制御 | 5軸モーター制御 |
| 試料交換室 | 最大径: 100 mmΦ 最大高: 40 mm H |
| 排気系 | SIP、TMP、RP |
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