IBCは従来のコーティング（加熱蒸着、アーク二極放電、マグネトロンまたはRFスパッタリングなど）方法に代わる集束イオンビーム法による薄膜コーティング装置です。TEM、SEM用試料の表面に非晶質の薄膜を生成するために設計された、卓上型集束イオンビームコーターです。
特長
真空計 オイルフリー
ダイヤフラムポンプとターボを使用して 真空を上げてるので、オイルフリー
試料ホルダ
ロッキングアングル 0℃～90℃
ロッキングスピード 0℃～36℃/Sec
TEM用の試料を装着する為のホルダ付
膜厚計付
ターゲット 4種取付可能
カーボン/クロム/白金/白金パラジウム
仕様・オプション
| 電子銃 | |
|---|---|
| イオン源 | ペニングイオン銃(PIG™) 2式 |
| イオンエネルギー | 1～10ｋV |
| ガス | アルゴンガス 0.1ｍL/min/ガン
（他の不活性ガス使用可） |
| ビーム径 | 約1mm |
| イオン電流密度 | 最大10ｍA/cm2 |
| 真空系 | |
| オイルフリーポンプ | 2段ダイヤフラムポンプと60L/sモキュレラドラックポンプ |
| 試料室エアロック | ウイスパーロック |
| 試料交換時間 | 30S以下、ガタン |
| 真空度 | |
| ベース真空度 | 6.6×10-4Pa |
| 使用真空度 | 8×10-3Pa |
| 真空計 | ペニングタイプ/試料室、ソリードステート検出器/背圧 |
| 液体窒素トラップ | 最大10時間使用可能（オプション） |
| コーティング | |
| コーティングレート | |
| カーボン（C） | 約0.05nm/s |
| クロム（Cr） | 約0.15nm/s（at 10kV） |
| 試料ホルダ | 水平プラットホーム（通常SEM用15mmφ試料載台装着可） |
| 試料回転 | 360°（0～8rpm） |
| 試料傾斜 | ロッキング動作 最大90°または固定角度 |
| ターゲットホルダ | 2つのターゲットを真空中に交互に交換可
待機中のターゲットはスパッタによるコンタミネーションから完全に遮蔽されています。 |
| 使用ターゲット | カーボン（C）/クロム（Cr） （標準）
カーボン、クロム、白金、金-パラジューム、インジューム、タンタル、タングステンが供給可能です。 第2ターゲットアッセンブリー（オプション） |
| 膜厚モニタ | 水晶膜厚モニタ（オプション） |
| オプション | TEM用のサイドエントリー TEMアダプタ |
| 寸法とユーティリティ | |
| 外形寸法 | 560mm（幅）×480mm（奥行）×430mm（高さ） |
| 質量 | 38kg |
| 電源 | 275W 100AVC（100～280 VAC可） 50/60Hz |
| ガス | アルゴン 純度99.998％以上、0.482MPa（70psi） |
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