IB-29510VET 真空蒸着装置は、電子顕微鏡用試料作製が容易に行える真空蒸着装置です。
高分解能観察に適したカーボン膜、各種金属蒸着膜の作製、シャドーイング、あるいは非導電性材に導電性を与えるためのコーティング処理などの他、電子顕微鏡用絞り箔のクリーニングなど高真空を必要とする各種の熱処理、または実験用にも使用できます。
特長
高分解能観察に適したカーボン膜が作製できます。
各種金属蒸着膜が作製できます。
非伝導性材に伝導性を与えるためのコーティング処理ができます。
シャドーイングによる蒸着が可能です。
電子顕微鏡用絞り箔のクリーニングなどの熱処理ができます。
仕様・オプション
| 到達圧力 | 1×10-4 Pa以下 (液体窒素トラップ無し) |
|---|---|
| 圧力測定 | B-A真空計およびピラニ真空計 |
| 圧力表示 | B-A真空計およびピラニ真空計デジタル表示 (レンジ自動切替) |
| ベルジャー | 高さ 250mm×外径 250mm ガラス製 |
| 蒸着用電源 | AC 10V、50A |
| 蒸着用電極 |
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| 予備ポート | 1個 |
| シャッター | 試料用 1個 (手動) |
| ターボ分子ポンプ(TMP) | 240L/s |
| 油回転ポンプ(RP) | 100L/min |
外観・仕様は改良のため予告なく変更することがあります。
設置条件
| 電源 | 単相 AC100V (±10%) 50/60Hz 1.5kVA (許容変動±10%以下)
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|---|---|
| 接地 | D種接地(100Ω以下) |
| 周囲温度 | 15～30°C |
| 湿度 | 60%以下 (結露無い事) |
| 本体寸法 | H 1,287mm×W 800mm×D 550mm |
| 本体質量 | 約150kg |
| 設置スペース | H 2,000mm以上×W 1,200mm×D 1,200mm |
| 搬入口 | H 1,300mm×W 800mm |
| 装置自信対策 | アンカーボルトによる装置本体固定可。
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オプション
試料回転傾斜装置 IB-21500RTS
液体窒素トラップ IB-21510LNT
液体窒素トラップ (IB-21510LNT)は、イニシャルオプションとして本体同時受注で、工場にて組込取付工事の上で本体と共に納入致します。 本体納入後に液体窒素トラップを受注する場合は、本体を工場に引き上げて、工場で取込付工事の上で本体と共に再納入致します。
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