VC-300S型 /300W型は、電子顕微鏡試料用カーボン蒸着装置です。TEM、SEM、EPMA(Electron Probe Micro Analyzer) にて、絶縁物等の観察・分析する試料表面に導電性薄膜を作製します。また、切片や支持膜の補強にも使用出来ます。300W型はXMAやFIB試料の保護膜など、特に厚いカーボン膜作製に利用します。
特長
ロータリーポンプを使用し、ピラニーゲージで真空度を監視しながらカーボン蒸着を行います。常に一定量のカーボンを蒸発させることにより再現性の高いカーボン蒸着が出来ます。
カーボン源は専用替え芯SLC-30をご使用下さい。
300Sの電極は一対、300Wの電極は2対あります。300Wはスイッチ切り換えで、2倍の厚さのコーティングが可能です。
仕様・オプション
仕様
| 電源 | AC100V（単相100V 15A）アース線付 3芯プラグ使用 |
|---|---|
| 装置サイズ | (W)255mm × (D)375mm × (H)430mm |
| 装置重量 | 18kg |
| ロータリーポンプ | 50L/min RP単体到達真空度1Pa ポンプ重量14.6kg 床置き型 SUS製フレキシブルホース1m付属 |
| 試料室サイズ | 内径 120mm x 高さ 140mm 硬質ガラス製 |
| 試料ステージサイズ | 直径 100mm 蒸発源に対し30mm上下可能 |
| 蒸着源－試料台間隔 | 45mm～75mmの範囲で調整可能 |
| 蒸発電源 | OUTGAS、EVAPOの2段階、最適電圧にプリセット |
| 到達真空度 | 1.5Pa以下 |
| 真空度監視 | ピラニゲージ |
