JSPM-5410 は、業界初の現代制御理論を用いた高速スキャン機能を搭載し、従来の 10 倍の高速で走査を行うことが可能です。高性能 ・ 多機能 = 操作が煩雑という常識を破り、初めて使う方でも装置の最高性能を容易に引き出せ、簡単な操作で様々な観察 ・データ測定が可能な最上位機です。
特長
スナップサーチ機能を標準搭載
従来使用されている PID 制御方法から、現代制御理論に基づいた STO*(Surface Topographic Observer) 法を用い高速に走査を行うことが出来ます。
専用のカンチレバを必要とせず、市販のカンチレバが使用できます。
グレーティング観察例
従来PID制御方法による走査
表面形状像 50Hz走査
正確な形状が得られていない
STO制御方法による走査
表面形状像 50Hz走査
STOは横浜国立大学で開発された技術です。
コントローラ・ソフトウェアを刷新
自社開発高圧アンプの採用により S/N の良い画像の取得が可能になりました。 わかりやすいグラフィカル新アイコンの採用により、ソフトウェアの操作性が向上しました。
環境制御対応 SPM
大気中から液中、真空排気、ガス導入、真空加熱 ・ 冷却まで簡単なオプションで観察環境を拡張できます。
オプション付加時にも大気中での操作性が大気専用機と変わりません。初心者から上級者まで使えるプローブ顕微鏡です。
ノンコンタクトモードを標準で搭載
第 4 世代目となる独自回路によりオートチューニングで簡単に操作可能です。唯一ノンコンタクトモードを搭載した市販装置です。
仕様・オプション
| 分解能 | 面内 0.1nm
垂直 0.02nm 原子分解能 |
|---|---|
| 測定モード (AFM) |
ACモード (振幅検出) 表面形状像、位相像、振幅像、(オプション：粘弾性、SKPM、MFM、EFM) ノンコンタクトモード (周波数検出) 表面形状像、周波数像、散逸像(オプション：SKPM) コンタクトモード 表面形状像、フォース像、コンタクト電流像、FFM(オプション：粘弾性、LM-FFM、SCFM、UAFM、SSRM) |
| 測定モード (STM)
SPS |
表面形状像、電流像
フォースカーブ、フリクションフォースカーブ I-V、S-V、I-S、S-I、SPSマッピング |
| 標準スキャナ走査範囲 | X,Y 0～20µm (分解能 16bit×3DAC：21bit 相当)
Z 0～3µm (分解能 22bit) チューブ形スキャナ使用 (交換可能) 画像ピクセル数 最大 2048×2048×5画像 長方形スキャン、ラインスキップスキャン、探針オートトラッキング ダメージレススキャンコントロール、セーフティー高速アプローチ |
| 試料サイズ | 50mm×50mm×5mmt (最大) |
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