JEM-2100 透過電子顕微鏡

JEM-2100は、各機能がPCで一元管理されたハイコストパフォーマンスの200kV汎用形の電子顕微鏡です。バイオからマテリアルまであらゆる分野での研究・開発を支援します。

特長

操作性と拡張性を備えた電子顕微鏡

コストパフォーマンスの良いLaB6電子銃を搭載しています。
0.19 nmの高い分解能（ポールピース URP 使用）を実現しました。
STEM（走査像観察装置）やEDS（エネルギー分散形 X 線分析装置）は本体コントロール用 PC にインテグレーション化されています。
EDS は立体角0.28 sr （ポールピース HRP、50 mm2検出器使用）を実現し、高感度、高分解能分析が可能です。
新設計のゴニオメータステージを採用し、長時間の安定した観察、分析が可能です。

仕様・オプション

分解能
バージョン	超高分解能構成※1 (UHR)	高分解能構成※1 (HR)	試料高傾斜構成※1 (HT)	クライオ構成※1 (CR)	ハイコントラスト構成※1 (HC)
粒子像	0.194 nm	0.23 nm	0.25 nm	0.27 nm	0.31 nm
格子像	0.14 nm	0.14 nm	0.14 nm	0.14 nm	0.14 nm
加速電圧	80，100，120，160，200 kV
最小可変加速電圧	50 V
電源安定度
加速電圧	2×10-6／min
対物レンズ安定度	1×10-6／min
対物レンズ
焦点距離	1.9 mm	2.3 mm	2.7 mm	2.8 mm	3.9 mm
球面収差係数	0.5 mm	1.0 mm	1.4 mm	2.0 mm	3.3 mm
色収差係数	1.1 mm	1.4 mm	1.8 mm	2.1 mm	3.0 mm
最小焦点可変量	1.0 nm	1.5 nm	1.8 nm	2.0 nm	5.2 nm
スポットサイズ
TEMモード	20～200 nmφ				1～5 μmφ
EDSモード	0.5～25 nmφ (αセクレタ組込み)	1.0～25 nmφ (αセクレタ組込み)	1.5～35 nmφ (αセクレタ組込み)	2.0～45 nmφ (αセクレタ組込み)	10～500 nmφ
NBDモード
CBDモード
収束電子回折
収束角（2α）	1.5～20 mrad以上			-	-
取込角	±10°			-	-
倍率
MAG	×2,000～ 1,500,000		×1,500～1,200,000	×1,200～ 1,000,000	×1,000～ 800,000
LOW MAG	×50～6,000				×50～2,000
SA MAG	×8,000～800,000		×6,000～600,000	×5,000～600,000	×5,000～400,000
カメラ長
制限視野回折	80～2,000 mm		100～2,500 mm		150～3,000 mm
高分散回折	4～80 mm
高分解能回折※2	333 mm
試料室
傾斜角　X／Y※3	±25/±25°	±35/±30°	±42/±30°	±15/±10°	±38/±30°
傾斜角　X※4	±25°	±80°	±80°	±80°	±80°
試料移動量	2 mm (X,Y) 0.2 mm (Z±0.1 mm)	2 mm (X,Y) 0.4 mm (Z±0.2 mm)
EDS(Si（Li）型検出器)※5
立体角　(30mm2/50mm2)	0.13sr／0.24sr	0.13sr／0.28sr	0.13sr／0.23sr	※6	0.09sr／－
取出角　(30mm2/50mm2)	25˚／22.3˚	25˚／24.1˚	25˚／25˚	※6	20˚／－