JEM-2800 ハイスループット電子顕微鏡

JEM-2800は優れたユーザビリティーを有しつつ、
高分解能観察と高速分析を両立したTEM/STEM装置です。

特長

SEMをはじめとする試料に適した多様な観察モードの実現

新設計の光学系により高分解能観察とハイスループット分析を両立させました。JEM-2800は透過像（TEM）、走査透過像（STEM）、二次電子像、電子回折の観察モードの切り替えが瞬時にでき、明るい部屋での像観察を実現しました。また、走査像モードではSTEM-BF像、STEM-DF像、二次電子像の同時観察が可能です。これらの機能により、オペレーターは目的に応じて、試料の広範囲の構造からサブナノメートルの格子像まで希望の観察モードで容易に全ての像を取得できます。

自動機能とユーザーナビゲーションに効率の良い操作環境

電子顕微鏡の観察に必要な操作の自動機能（コントラスト＆ブライトネス、試料高さ（Z）調整、結晶方位合わせ、フォーカス、非点収差補正）を積極的に採用しました。これらの機能により、オペレーターの習熟度に依存しない再現性のある結果の取得を可能としました。

また、ターボ分子ポンプの標準装備により試料交換の時間を短縮し、試料ホルダ挿入後、約30秒で観察を開始できます。

さらに、初心者でも安心して確実に操作することができるように、データ取得に必要な操作ガイドと動画が組み込まれたオペレーターアシストシステムJEM-Navi™を標準搭載しています。

大面積100mm²SDDによる高速分析（Dual SDD対応）

ハイスループット観察のみならず、ハイスループット元素分析も可能です。日本電子製の大面積100mm² シリコンドリフト検出器（Silicon Drift Detector：SDD）^※1を搭載することにより、電子顕微鏡の性能を損なうことなく大きな立体角が得られ、従来のスピードをはるかに上回る高効率なX線分析が可能となりました。また、JEM-2800では短時間で確実な分析結果を得るために、試料や分析法に応じた最適な電子プローブ径を選択することができます。

※1 オプション

データの統合管理と報告書作成支援

多くのユーザーのニーズに応えて、迅速な解析結果の報告ができるようデータ管理のトータルシステムを用意しています。JEM-2800で取得した画像及び分析データはLAN経由でデータ統合管理ソフト（Image Center^※2）へ自動的に送られます。さらにClient PC からアクセスして測長（Image Excite^※2）や粒子解析（Region Gauge Center^※2）を効率よく実行することができ、データ整理ソフト（Image Import^※2）により報告書を容易に作成することができます。

※2 株式会社システムインフロンティア製

仕様・オプション

分解能
二次電子像（edge to edge）	≦0.5nm（加速電圧200kV）
走査透過像	0.16nm（加速電圧200kV）
透過像（格子像）	0.1nm（加速電圧200kV）
倍率（24インチワイドLCD上）
二次電子像	X100～X150,000,000
走査透過像	X100～X150,000,000
透過像	X500～X20,000,000
電子銃
電子銃	ショットキー電界放出形電子銃
加速電圧	200kV、100kV
試料系
ステージ	ユーセントリックサイドエントリーゴニオメーターステージ
試料サイズ	3mmΦ
最大傾斜角	X軸：±20° Y軸：±25°（2軸傾斜ホルダ使用時）
移動範囲	X,Y：±1mm Z：±0.2mm（モータ駆動） *ピエゾ駆動対応（X,Y）
オプション
主な装着可能オプション	エネルギー分散形X線分析装置（EDS）電子線エネルギー損失分光器（EELS）デジタルCCDカメラシステム TEM/STEMトモグラフィーシステム