Cryo-SEMの概要

SEM で含水試料を観察する場合は Cryo-SEM が適しています。Cryo-SEM は凍結された含水試料の割断、コーティングなどを行う Cryo チャンバと SEM 観察用の冷却ステージの 2 つで構成されています。また、Cryo- チャンバに抵抗加熱式の真空蒸着装置があり、 試料に金を蒸着することができます。さらに試料中の氷をエッチングするためのヒーターが装着されています。
本資料では Cryo-SEM の基本操作手順を解説します。