新型走査電子顕微鏡JSM-IT100 InTouchScope™を販売開始 - コンパクトでありながらも多機能なSEM -

2015/11/30

日本電子株式会社 (代表取締役社長 栗原 権右衛門) は、この度、装置本体の小型化を図りながらも、上位機種と同等の分解能性能を持ち合わせた新型走査電子顕微鏡JSM-IT100 InTouchScope™を開発し、販売を開始いたしました。

開発の背景

走査電子顕微鏡はバイオテクノロジーやナノテクノロジーの分野をはじめとして、材料開発、検査、評価、欠陥解析、または品質管理に至るまで様々な目的で使用されています。昨今は、こうした様々なニーズを背景に製造現場や研究室等のスペースが限られる場所に設置することが求められるようになり、卓上型の走査電子顕微鏡がこうした需要に応えてきました。JSM-IT100は、従来機種「JSM-6510、JSM-6010Plus InTouchScope™」よりも設置面積を約30%削減して設置場所の自由度を高くし、卓上走査電子顕微鏡並のスペースに設置することが可能となりました。

分解能性能は上位機種と同等で多彩な試料に対応することが可能です。なお、操作系は「JSM-6010/JSM-6010Plus InTouchScope™」を踏襲し、“観察から元素分析まで一貫操作” で初めての方でも簡単に扱うことが可能です。さらに、JSM-IT100ではベーシックモデルの他に、低真空観察機能を装備したJSM-IT100(LV)、EDS元素分析機能を装備したJSM-IT100(A)、低真空観察機能およびEDS元素分析機能を装備したオールインワンのJSM-IT100(LA)の4モデルから用途に合わせた最適なモデルをご選択いただけます。

「InTouchScope™」は、2010年の販売開始以来、世界中のお客様にご利用いただいており、今年度中に累計出荷台数が1,000台を突破する見込みです。

主な特長

  1. タッチパネル操作により直感的で快適な操作が可能
  2. 観察から元素分析まで完全インテグレーションされたGUIのため、初心者でも分かりやすい一貫した操作手順を実現
  3. 低真空観察や元素分析にとどまらず、上位機種と同様なオプション装着が可能なオールインワンSEM
  4. エリア分析や線分析等のEDS機能を拡充
  5. 省設置スペースのうえ、電源は100Vコンセントのみ、冷却水不要のため設置が容易

主な仕様

分解能 高真空モード 4.0nm (20kV)、3.0nm (30kV)*
低真空モード 5.0nm (20kV)、4.0nm (30kV)*
倍率 ×5 ~ ×300,000
加速電圧 0.5 kV~20 kV、0.5 kV~30 kV*
試料ステージ 大型ユーセントリック試料ステージ (5 軸手動 X, Y, Z, R, T )
X:80mm, Y:40mm, Z:5mm~48mm,
T: - 10°~ + 90°, R:360°
最大試料寸法 直径150mm
本体サイズ 幅:630mm x 奥行き:840mm x 高さ:1450mm
 

*加速電圧拡張キット装着時

JSM-IT100(LA) InTouchScope  - コンパクトでありながらも多機能なSEM - 日本電子株式会社

写真はJSM-IT100(LA)

本体標準価格

10,000,000円~

販売予定台数

300台/年間