Conductive AFM Probes Tap シリーズ
Tapシリーズ、Contactシリーズ、Multiシリーズ、AIOシリーズの各カンチレバーのプローブ側に導電性コーティングを施したカンチレバーです。Contact Mode, AC Mode (Tapping),Force Modulation, Noncontact Modeまで多くのAFMモードで応用測定に利用できます。
AFMプローブ先端からカンチレバー基板までが単結晶シリコンで一体形成されており、品質の高い形状、先端曲率を有しています。先端曲率は25nm以下で良好な分解能と再現性を有しています。Tip先端には200nm以上に亘って対称性の良いプローブ部分が形成されています。
導電性材料としてシリコン表面にクロム5nm、そして最表面に白金25nmをコーティングしています。
用途：走査型容量顕微鏡（SCM）、静電気力顕微鏡（EFM）、走査型ケルビンプローブ顕微鏡（SKPM）、リソグラフィー など
本製品の基板背面にはプローブホルダーへの取付用ガイド溝が構成されています。（-Gのみ）
Tap190E-G
| 仕様値 | 許容誤差範囲 | |
|---|---|---|
| 共振周波数 | 190 kHz | ± 60 kHz |
| ばね定数 | 48 N/m | 20 N/m to 100 N/m |
| 長さ | 225 µm | ± 12 μm |
| 幅 | 38 µm | ± 9 µm |
| 厚さ | 7 µm | ± 1 µm |
| Tip 高さ | 17 µm | ± 2 µm |
| Tip 構成位置 | 15 µm | ± 5 µm |
| Tip 曲率 | < 25 nm | |
| 反射面コーティング | 両面 クロム/白金 コーティング | |
| 開き角（半値） | 20°-25° カンチレバー先端側 | |
| 25°-30° カンチレバー側面 | ||
| 10° 先端側 | ||
| 接触抵抗 | 300Ω（対白金薄膜表面） | |
Tap300E-G
| 仕様値 | 許容誤差範囲 | |
|---|---|---|
| 共振周波数 | 300 kHz | ± 100 kHz |
| ばね定数 | 48 N/m | 20 N/m to 75 N/m |
| 長さ | 125 µm | ± 10 µm |
| 幅 | 30 µm | ± 5 µm |
| 厚さ | 4 µm | ± 1 µm |
| Tip 高さ | 17 µm | ± 2 µm |
| Tip 構成位置 | 15 µm | ± 5 µm |
| Tip 曲率 | < 25 nm | |
| Tip 面・反射面コーティング | 両面 クロム/白金 コーティング | |
| 開き角（半値） | 20°-25° カンチレバー先端側 | |
| 25°-30° カンチレバー側面 | ||
| 10° 先端側 | ||
| 接触抵抗 | 300Ω（対白金薄膜表面） | |
