Conductive AFM Probes ContE-G
AFMプローブ先端からカンチレバー1板までが単結晶シリコンで一体形成されており、品質の高い形状、先端曲率を有しています。先端曲率は25nm以下で良好な分解能と再現性を有しています。Tip先端には200nm以上に亘って対称性の良いプローブ部分が形成されています。
導電性材料としてシリコン表面にクロム5nm、そして最表面に白金25nmをコーティングしています。
用途：走査型容量顕微鏡（SCM）、静電気力顕微鏡（EFM）、リソグラフィー など
ContE-G
| 仕様値 | 許容誤差範囲 | |
|---|---|---|
| 共振周波数 | 13 kHz | ± 4 kHz |
| ばね定数 | 0.2 N/m | 0.07 N/m to 0.4 N/m |
| 長さ | 450 µm | ± 10 µm |
| 幅 | 50 µm | ± 5 µm |
| 厚さ | 2 µm | ± 1 µm |
| Tip 高さ | 17 µm | ± 2 µm |
| Tip 構成位置 | 15 µm | ± 5 µm |
| Tip 曲率 | < 25 nm | |
| Tip 面・反射面コーティング | 両面 クロム/白金 コーティング | |
| 開き角（半値） | 20°-25° カンチレバー先端側 | |
| 25°-30° カンチレバー側面 | ||
| 10° 先端側 | ||
| 接触抵抗 | 300Ω（対白金薄膜表面） | |
