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Gold Coated Silicon AFM Probes GOLD シリーズ

Budget Sensors

Tapシリーズ、Multiシリーズ、Contactシリーズの各カンチレバーの背面(GD)または背面とプローブ側の両面(GB)に金コーティングを施したカンチレバーです。
Contact Mode, AC Mode(Tapping),Force Modulation, Noncontact Modeまで多くのAFMモードで応用測定に利用できます。

Tap300GD-G / Tap300GB-G

AFMプローブ先端からカンチレバー基板までが単結晶シリコンで一体形成されており、品質の高い形状、先端曲率を有しています。先端曲率はGDは10nm以下、GBは25nm以下と良好な分解能と再現性を有しています。Tip先端には200nm以上に亘って対称性の良いプローブ部分が形成されています。
カンチレバー背面、プローブ側共に膜厚70nmの金コーティングを施しています。
GB用途:走査型容量顕微鏡(SCM)、静電気力顕微鏡(EFM)、走査型ケルビンプローブ顕微鏡(SKPM)、リソグラフィー 、液中など

本製品の基板背面にはプローブホルダーへの取付用ガイド溝が構成されています。(-Gのみ)

仕様値 許容誤差範囲
共振周波数 300 kHz ± 100 kHz
ばね定数 40 N/m 20 N/m to 75 N/m
長さ 125 µm ± 10 μm
30 µm ± 5 µm
厚さ 4 µm ± 1 µm
Tip 高さ 17 µm ± 2 µm
Tip 構成位置 15 µm ± 5 µm
Tip 曲率 GD < 10 nm
GB < 25nm
反射面コーティング(GD) 反射面 膜厚 70nm 金コーティング
両面コーティング(GB) 両面 膜厚 70nm 金コーティング
開き角(半値) 20°-25° カンチレバー先端側
25°-30° カンチレバー側面
10° 先端側
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