Gold Coated Silicon AFM Probes GOLD シリーズ
AFMプローブ先端からカンチレバー基板までが単結晶シリコンで一体形成されており、品質の高い形状、先端曲率を有しています。先端曲率はGDは10nm以下、GBは25nm以下と良好な分解能と再現性を有しています。Tip先端には200nm以上に亘って対称性の良いプローブ部分が形成されています。
カンチレバー背面、プローブ側共に膜厚70nmの金コーティングを施しています。
GB用途:走査型容量顕微鏡(SCM)、静電気力顕微鏡(EFM)、走査型ケルビンプローブ顕微鏡(SKPM)、リソグラフィー 、液中など
本製品の基板背面にはプローブホルダーへの取付用ガイド溝が構成されています。(-Gのみ)
Multi75GD / Multi75GB-G
仕様値 | 許容誤差範囲 | |
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共振周波数 | 75 kHz | ± 15 kHz |
ばね定数 | 3 N/m | 1 N/m to 7 N/m |
長さ | 225 µm | ± 10 μm |
幅 | 28 µm | ± 5 µm |
厚さ | 3 µm | ± 1 µm |
Tip 高さ | 17 µm | ± 2 µm |
Tip 構成位置 | 15 µm | ± 5 µm |
Tip 曲率 | GD < 10 nm
GB < 25nm |
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反射面コーティング(GD) | 反射面 膜厚 70nm 金コーティング | |
両面コーティング(GB) | 両面 膜厚 70nm 金コーティング | |
開き角(半値) | 20°-25° カンチレバー先端側 | |
25°-30° カンチレバー側面 | ||
10° 先端側 |