東京大学・日本電子産学連携室
概要・目的
東京大学・日本電子産学連携室は、東京大学大学院工学系研究科と日本電子株式会社により、 電子顕微鏡を中心とした先端計測技術を用いた連携研究、およびその技術を国内外へ広く啓蒙 普及することを目的として2005年6月に設立されました。
先端計測技術の普及に産学連携は欠かせない時代となっております。本連携室では東京大学大 学院工学系研究科総合研究機構が、長年培い蓄積してきた研究成果および最先端電子顕微鏡設 備・技術を基盤とした教育・研究ノウハウと、日本電子の電子顕微鏡応用技術・機器へのサポー ト力を結集し、特にナノテクノロジー分野・領域間の境界研究、教育、科学技術振興、地域社会・ 国際社会への貢献活動の推進を図る、新しいタイプの産学連携を目指しています。
産学連携室の取り組み
最先端電子顕微鏡設備・技術の共同利用
-
最先端電子顕微鏡・技術等に関する計測
- 分析技術のセミナー・講演会の開催
-
学内、国内外研究者からの分析支援
- 受託分析および連携研究
受託分析および連携研究
最初の電子顕微鏡
東京帝国大学 最初の電子顕微鏡
TU-No1型
| 1939年 | 日本学術振興会37小委員会（瀬藤 象ニ委員長）に参加。 山下英男教授、谷安正助教授 |
|---|---|
| 1942年 | 谷安正先生が製作完成 |
静電レンズ型電子顕微鏡
加速電圧：50kV
倍率：×15,000
分解能：1nm
写真撮影：35mmフィルム
工学部総合研究機構9号館地下1階実験室に現存。写真は2005年9月撮影。
日本電子株式会社 最初の電子顕微鏡
DA-1型
この写真は日本電子（株）の前身である（株）日本電子光学研究所が1947年に製作・販売開始した磁界型透過電子顕微鏡（DA-1型）と同型の装置で、日本電子（株）昭島本社の開発館に今でも保存・展示されております。
商用量産の電子顕微鏡で、一号機は三菱化成工業（株）様（当時）へ納入されました。
製品の紹介
JEM-ARM1250
| 分解能 | 0.1nm（粒子像） |
|---|---|
| 加速電圧 | 400～1250kV |
| 倍率 | ×200～2,000,000 |
JEM-4010
| 分解能 | 0.17nm（粒子像） |
|---|---|
| 加速電圧 | 80～400kV |
| 倍率 | ×50～2,000,000 |
JEM-2010F+EDS
| 分解能 | 0.23nm（粒子像） |
|---|---|
| 加速電圧 | 80～200kV |
| 倍率 | ×50～1,500,000 |
EM-09100（IS）
| 分解能 | 1～8kV |
|---|---|
| 加速電圧 | 最大±6°（0.1°ステップ） |
| 倍率 | 500μm（FWHM） |
JSM-7001F+CL+EDS
| 分解能 | 1.2nm（30kV） |
|---|---|
| 3.0nm（1kV） | |
| 加速電圧 | 0.5～30kV |
| 倍率 | ×10～500,000 |
JSM-6510LA+EDS
| 分解能 | 3.0nm（高真空モード） |
|---|---|
| 4.0nm（低真空モード） | |
| 加速電圧 | 0.5～30kV |
| 倍率 | ×5～300,000 |
JCM-5000
| 加速電圧 | 15kV、10kV、5kV |
|---|---|
| 倍率 | ×10～20,000 |
SM-09020（CPII）
| イオン加速電圧 | 2～6kV |
|---|---|
| イオンビーム径 | 500μm（半値幅） |
| ミリングスピード | 200μm/2H |