水晶振動子式膜厚コントローラ/モニターに接続し、真空蒸着時の膜厚や蒸着レートをリアルタイムに計測/制御するための6点/12点式水晶センサーです。
真空チャンバー内部のセンサー本体長さ、センサーヘッドタイプを選択して組み合わせることができます。
特長
概要
6MHz/5MHzの水晶振動子（クリスタル）を6枚または12枚装着できるマルチセンサーです。
クリスタルが寿命 (Crystal Fail) になると、次のクリスタルへ切り替えてそのまま使用できるため、厚膜や多層膜の成膜に適しています。
検出孔は定位置のため、クリスタルが切り替わるごとに Tooling Factor を変える必要はありません。
センサーヘッドはフラットタイプと 45°タイプの 2 種類あり、取り付ける位置で使い分けることができます。
高温環境下で使用する場合はオプションのCuキャップ(銅製カバー)をヘッド部に取り付けることができます。
設置例
センサーヘッドのクリスタル開口部に蒸気ができるだけ垂直に入射するレイアウトにしてください。
斜めに入射した場合は、クリスタル表面に不均一に膜が堆積する可能性があり、不安定な振動によりレートモニターが不安定となり、寿命も低下します。
特長
水晶振動子裏面の電気接点は面接触に近い多点電極となっており、安定な水晶振動による精度の高い膜厚計測が可能です。
消耗部品の交換や組み立ては容易で、電極間の接触不良を起こしにくい構造であるため、クリスタル切替時の安定動作を実現しています。
クリスタルの切替えは、エアー駆動＋ストッパー機構により、高い位置合わせ精度を実現しています。
チャンバー内のセンサー長さを選択でき、またヘッドの角度も2種類あるため、小型装置から大型装置まで任意の場所に取り付けることができます。
チャンバー孔へフランジ留めするだけの構造のため設置が容易です。図面通りに検出位置を合わせることができます。
センサーヘッドは導入フランジ部から筒で固定されているため、ヘッド部だけのセンサーとは異なり固定が確実です。
クリスタル交換時やクリーニング時にセンサーヘッド位置（検出位置）がずれてしまう事がないため、バッチ間や長期使用での再現性（データの信頼性）が得られます。
仕様・オプション
6点式ロータリーセンサー（BS-04xxxSSR）
構成
12点式ロータリーセンサー（BS-04xxxTRS）
構成
仕様
取付チャンバー穴径：2インチ（50.8mm）
駆動方式：エアー駆動（0.4～0.7MPa）
冷却水：流量2～3L/min，差圧0.2～0.35MPa（最大圧力0.5MPa），水温10～25℃
オシレーターやケーブルは付属していません。
接続する水晶膜厚計での動作に関しては別途お問合せください。
（インフィコン製モデル、アルバック製モデル等）
