JSM-F100は、定評のあるインレンズショットキーPlus 電界放出電子銃と電子光学系Neo Engineに加えて、新開発の操作GUI『SEM Center』とAI (人工知能) を応用した『LIVE-AIフィルター』を搭載し、高空間分解能観察と操作性の両立を実現しました。さらに自社製エネルギー分散形X線分析装置 (EDS) を標準搭載し、SEM Centerとフルインテグレーションすることにより、観察から元素分析まで、より楽にNonstopでデータを取得できます。高性能と使いやすさを進化・融合させたことにより作業効率50%以上の向上を実現し、日々の測定をハイスループット化します。
特長
新機能 SEM Center・EDSインテグレーション
新開発の操作GUI「SEM Center」とEDS分析をフルインテグレーションし、次世代の操作性を実現しました。操作性が良いだけでなく、FE-SEMならではの高分解能画像も得られます。また、観察中も常に元素分析結果が表示されるLive Analysis機能を搭載し、観察から元素分析まで、より楽に効率良くデータを取得できます。
新機能 Zeromag機能
光学像とSEM像をシームレスにつなぐ「Zeromag」の搭載により、素早く快適な視野探しが可能になりました。
新機能 LIVE-AIフィルター (Live Image Visual Enhancer-AI)
ライブ像をみやすくする新開発のLIVE-AI (人工知能)フィルターを搭載しました。 積算処理と異なり残像がなく追従性の良いライブ像を表示できるため、視野探しやフォーカス、非点の調整に非常に有効なフィルターです。
(本機能はオプションです。)
ライブ像の比較
試料：蟻の外骨格、入射電圧：0.5kV、検出器：SED
試料：鉄のさび、入射電圧：1kV、検出器：SED
インレンズショットキーPlus 電界放出電子銃(FEG)
電子銃と低収差コンデンサーレンズの融合により高輝度化を実現しました。電子銃から発生する電子を効率よく集めることができ、低加速電圧でも数pA～数10nAの照射電流が得られ、対物絞りの切替え無しで高分解能観察から高速度元素マッピングやEBSD分析まで行えます。
ハイブリッドレンズ (HL)
ハイブリッドレンズ (HL) を搭載、磁性体材料から絶縁体試料まで、あらゆるサンプルを高空間分解能で観察・分析することができます。
Neo Engine (New Electron Optical Engine)
レンズ制御システムと自動機能技術を統合させた新開発の次世代型電子光学制御システムNeo Engine (New Electron Optical Engine)を搭載。電子光学条件を変更しても、光軸のズレがほとんどなく、操作性や観察の精度が大きく向上し、どなたでも容易に装置本来の性能を引き出せます。 JEOLの電子光学技術の結晶と言えるシステムです。
AFS・ACB
オート前
オート後
試料：カーボン上の錫ナノ粒子
入射電圧: 15 kV, WD: 2 mm, 観察モード: BD, 検出器: UED, 倍率: x200,000
ACL (開き角最適化レンズ)
ACL (開き角最適化レンズ) は、対物レンズの上方に搭載され、対物レンズの開き角を全電流範囲にわたり自動的に最適化します。これにより、電流量を変えても自動的に入射電子の広がりを調整するため、常に最小のプローブ径が得られます。高分解能観察から各種分析まで、幅広く照射電流を変化させても、スムーズな観察が可能です。
検出システム
最大4検出器での信号取得が可能です。 標準搭載のSED (二次電子検出器)、UED(上方検出器) に加え、オプションでRBED (リトラクタブル反射電子検出器)、USD (上方二次電子検出器)の取り付けが可能です。
■UED 高角度反射電子(組成・結晶情報)
■USD 二次電子(表面形態情報)
■RBED 反射電子(組成・結晶・凹凸情報)
■SED 二次電子・反射電子(凹凸情報)
SMILE VIEW™ Lab
取得データを一元管理できるSMILE VIEW™ Labにより、観察から分析まで全データのレポートを素早く簡単に作成できます。
スマイルナビ
装置を使用するのがはじめての方や使用に対して不安がある方でも、基本操作が問題なくできるよう設計されたアシストツールです。
説明に従いスマイルナビ内のアイコンをクリックするとSEMの操作画面が連動します。必要な操作手順やボタンの配置をSEMの操作画面に対して示してくれるため、将来的にスマイルナビなしでの操作の習得が期待できます。
(本機能はオプションです。)
関連リンク
ニュースリリース
特殊試料ホルダーのご案内
汎用特殊試料ホルダー & アダプター FE-SEM 走査電子顕微鏡用
仕様・オプション
仕様
| 分解能 (1 kV) | 1.3 nm |
|---|---|
| 分解能 (20 kV) | 0.9 nm |
| 倍率 | 写真倍率：×10～×1,000,000 (128 mm × 96 mm 表示時)
表示倍率：×27～×2,740,000 (表示パネル 23.8 型 (表示画素数 1,920 × 1,080) ) |
| 加速電圧 | 0.01～30 kV |
| 照射電流 | 数 pA～300 nA (30 kV)
数 pA～100 nA (5 kV) |
| 標準検出器 | 上方検出器 (UED)、二次電子検出器 (SED) |
| 電子銃 | インレンズショットキーPlus電界放出電子銃 (FEG) |
| 開き角最適化レンズ (ACL) | 組込み |
| 対物レンズ | ハイブリッドレンズ (HL) |
| 試料ステージ | フルユーセントリックゴニオメーターステージ |
| 試料移動 | X: 70 mm、Y: 50 mm、Z: 2～41 mm
傾斜: -5～70° 回転: 360° |
| モーター制御 | 5軸モーター制御 |
| 試料サイズ (ドローアウト) | 最大径: 170 mm
最大高さ: 45 mm (WD 5 mm) |
| 長焦点距離 (LDF)モード | 組込み |
| EDS機能 | スペクトル分析
定性分析・定量分析 ライン分析（水平ライン分析、任意方向 ライン分析） 元素マッピング、プローブ トラッキング 等 |
検出器詳細 (ドライSD™検出器仕様) 60 mm2 133 eV 以下 B ～ U
| 検出素子面積 | 60mm2 |
|---|---|
| エネルギー分解能 | 133eV以下 |
| 検出可能元素 | B～U |
| データ管理機能/レポート作成 | SMILE VIEW™ Lab |
主要なオプション
低真空機能
リトラクタブル反射電子検出器 (RBED)
上方二次電子検出器 (USD)
低真空二次電子検出器 (LVSED)
透過電子検出器 (STEM)
後方散乱電子回折 (EBSD)
波長分散形X線分析装置 (WDS)
軟X線分光器 (SXES)
カソードルミネッセンス (CL)
試料交換室
ステージナビゲーションシステム
試料室カメラ
操作テーブル
オペレーションパネル
トラックボール
スマイルナビ
LIVE-AIフィルター
SMILE VIEW™ Map
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