見えるから、追求したい
ナノメートルオーダーでの分解能や分析性能はもちろんのこと、データを取得する際のスループットも重要視される今、新たに誕生したJSM-IT710HRは、"誰でも簡単に高分解能の画像が撮ることが出来るSEM" をテーマに掲げたJEOLのHR*シリーズの4世代のモデルです。
自動機能を拡充させた操作性と新しい検出器系を兼ね備えた観察性能の向上により、見えたその先をさらに探求したくなる装置です。
*HR=High Resolution
特長
製品動画
見えるから、追求したい。
①光学像と連動してSEM像が見える
試料ご提供：ヒノトントンZOO(羽村動物園)
②高分解能電子銃により、よく見える
見えるから、追求したい。
帯電軽減
低真空
3次元観察
多分割検出器
元素情報
EDS※
結晶構造解析
EBSD※
※オプションです。
帯電軽減
試料ご提供：東京農工大学工学部生命工学科 朝倉哲郎先生
結晶構造解析
試料ご提供：国立研究開発法人 物質・材料研究機構 (NIMS) 津﨑 兼彰先生
新機能
自動測定機能: Simple SEM/EDS
Simple SEM
Simple SEM は複数の条件を一度に登録することで、自動測定が可能な機能です。 これにより、ルーティンワークの作業性が一気に向上します。
その場で3D像を構築: Live 3D
アウトレンズ型対物レンズにより。低倍率時も少ない画像歪みで撮影可能です。
4分割素子から取得した像
試料: プラスチック破面
ライブ3D画像
新しい低真空二次電子検出器LHSED
新開発のLHSEDでは低真空下で鮮明な凹凸情報や発光情報が得られます。
LHSEDの特長
- 低真空二次電子像のライブの像質向上
- 発光情報の取得
- 凹凸・発光情報の切替可能
ショットキーFE電子銃の安定性を従来比 4倍以上に強化
自動ビーム調整
JSM-IT710HRは煩雑なマニュアル調整に頼ることなく、軸合わせから非点・フォーカスまで、自動で調整可能です。
二次電子検出システム
二次電子検出器 (SED)
試料: クジャクの羽※
※観察試料提供: ヒノトントンZOO (羽村動物園)
低真空二次電子検出器 (LVSED、もしくは、LHSED)
試料: セルロースマイクロファイバー
高分解能と大電流の両立
JSM-IT710HRで採用したショットキー電界放出電子銃は、コンデンサーレンズと電子銃を一体化することで、ビーム径の広がりを抑制しながら大電流を使用できるため、高分解能での観察と分析が可能です。
反射電子検出システム
新型の多分割反射電子検出器では、4方向からの反射電子像を1度に取得し、簡易的な三次元再構築像を作成し、ライブ像として表示することができます。
すべての解析は"Zeromag"からスタート
Zeromag の光学像を使うと視野探しのスループットが向上します。
光学像にSEM 像をリンクさせることができるため、観察、分析、自動測定へ簡単につながります。
EDS インテグレーション
日本電子はSEMだけでなくEDSも自社で製造・販売しています。
その強みを活かし、SEMの観察画面とEDS分析結果を一括で操作・管理できるため、操作性とデータ管理が大幅に向上しています。
相分析機能
日本電子製EDS に相分析機能が加わりました。物質 (化合物・単体) ごとのマッピングが可能です。
反射電子像
相マップ (各相 重ね合わせ)
試料：精密切削刃の断面
Co、Cu、Snの成分差によるマッピングが相分析で得られています。
Co 面積 (%) : 68.15
CuSn (CuRich) 面積 (%) : 16.25
CuSn (SnRich) 面積 (%) : 14.54
仕様・オプション
製品カタログをご覧ください。
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アプリケーション
電子デバイス
活かせるJSM-IT710HR の特長: 高分解能、高コントラスト、広領域観察
LED
電子デバイスの接合界面のナノボイドも鮮明に観察
試料: LED のCP※ 断面
観察倍率: ×250 (上)、×1,000 (左下)、×40,000 (右下)
加速電圧: 5 kV
※ CP: クロスセクションポリッシャ™
配線パターン
低真空機能を使い、無蒸着でレジスト表面を広領域に観察
試料: 配線パターンの表面、観察倍率: ×200 (左) 、×300 (右)、真空圧力: 70 Pa、加速電圧: 15 kV
SRAM
高分解能EDSマップ
試料: SRAMのCP断面
観察倍率: ×10,000 (上)、×50,000 (下)
加速電圧: 5 kV (SEM)、7 kV (EDS)
反射電子像
EDSマップ
Al ボンディングパッド
低真空二次電子 / 反射電子像の同時取得により、無蒸着でデバイス表面の凹凸・組成情報を広範囲に取得
低真空二次電子像
低真空反射電子像
試料: ボンディングパッド表面、観察倍率: ×100、真空圧力: 70 Pa、加速電圧: 15 kV
鉄鋼
活かせるJSM-IT710HR の特長: EBSD 解析に適した光学系 (ショットキー電界放出電子銃、アウトレンズ)
エネルギー・セラミックス
活かせるJSM-IT710HR の特長: 分析能力、低真空機能
ペロブスカイト太陽電池基板
太陽電池基板中のナノスケール層を精度高く分析
セラミックス基板 (Si3N4)
低真空機能により絶縁物を無蒸着で元素分析
低真空反射電子像
低真空元素マップ
加速電圧: 5 kV、低真空元素マッピング (30 Pa)
部位: Si3N4基板の機械研磨面※
※機械研磨後にAr平面ミリングで仕上げ
ソフトマテリアル・ライフサイエンス
活かせるJSM-IT710HR の特長: 低加速電圧、低真空機能、極低倍率観察
ABS樹脂
数万倍の画像を複数枚取得しても安定した像の輝度と画像のつなぎ合わせ精度を実現
ゼラチン
高輝度・高分解能な二次電子像
人工血管
スライドガラス上の生体試料を低倍率から高倍率まで観察
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