光学顕微鏡と走査電子顕微鏡の試料ホルダを共通化し、ステージ情報を専用のソフトウェアで管理することにより、光学顕微鏡で観察した箇所をシステムに記憶させ、同一視野を走査電子顕微鏡でさらに拡大して微細構造観察ができるようになりました。
光学顕微鏡で観察ターゲットを見逃すことなく、シームレスに走査電子顕微鏡で観察することが可能となり、光学顕微鏡像と走査電子顕微鏡像との比較検証がよりスムーズで容易にできるようになりました。
特長
システムの概要
対応機種
電界放出形走査電子顕微鏡
電子プローブマイクロアナライザ
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色情報を付加したより直観的な観察・データ取得
SEM観察では得られない光学顕微鏡の色情報をSEM像に付加することで、より直感的な視覚効果を与えることができます。
光学顕微鏡の特長を生かしたスムーズな位置同定
光学顕微鏡で観察することで、SEM観察では認識しづらい構造の位置同定をスムーズに行うことができます。
電子線による試料へのダメージを防止
電子線による損傷やコンタミを防ぐために、光学顕微鏡で観察位置の同定をあらかじめしておき、最低限の電子線照射でSEM観察を行うことができます。
miXcroscopy™ For EPMA -システムの概要-
EPMAで元素分析(点分析）する位置を光学顕微鏡で設定するシステムです。
miXcroscopy™ For EPMAを利用することで、作業効率、EPMAの稼働効率が向上します。
対応機種
電子プローブマイクロアナライザ
miXcroscopy™ For EPMA -スムーズな分析位置登録-
反射電子組成像では区別のつきにくい試料でも、光学顕微鏡で偏光観察することにより、スムーズに分析位置を決めることができます。
試料：スライドガラス上の鉱物薄片
偏光顕微鏡像 倍率:50倍
反射電子組成像 倍率:50倍
miXcroscopy™ For EPMA -正確・迅速に，光学顕微鏡の登録位置を分析-
従来フロー
試料：鉱物薄片
miXcroscopy™ For EPMAを利用したフロー
miXcroscopy™ For EPMAを利用することで視野探し・分析点登録は光学顕微鏡、 分析の実行はEPMAと役割を分けることができ、視野探しをEPMAで行う必要がなくなり、EPMAのマシンタイムを実際の分析に多く割り振ることができます。
アプリケーション
miXcroscopyに関するアプリケーション
関連製品
JSM-7610F ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡
JSM-7610Fはセミインレンズ方式の高分解能ショットキー形フィールドエミッション走査電子顕微鏡です。 照射系にはHigh Power Opticsを採用し、高速・高精度の元素分析を行うことが可能です。 また、高空間分解能元素分析にも適しています。 さらに、ジェントルビームモードにより数百eVの極低加速電圧で試料最表面の観察が可能です。
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