スタンダードモデルとして愛用されたPIPS™の基本性能及び操作性を画期的に向上させた新タイプの装置です。
日常的な材料から、最先端材料まであらゆる状況で最高の試料作製を可能にし、操作はタッチパネルによるGUI方式を採用し、レシピ機能等も搭載され驚くほど迅速・容易に行えます。
特長
10インチのタッチパネル式 『GUI』 ※
シンプルで使いやすいインターフェース
ベーシックユーザからハイレベルユーザまで満足
レシピ設定機能付き
最適レベルのパラメータの測定・モニタリング・設定結果を表示
補正及びビームアライメントをアシスト
性能のモニタリング及び保守の為のマシン・ログを作成
GUI＝グラフィックユーザーインターフェース
改良されたガンの性能
低エネルギー性能が画期的に向上
高エネルギー性能エンベロープ拡大
高精度な試料作製による良好なＴＥＭデータ取得が可能
新しいX、Yステージ
試料上の重要点を、回転・イオンビームの中心に設定できる
PIPS™IIカメラと関連付けた、非常に簡単なアライメント調整
冷却ステージ
大容量デュアを採用し長時間の冷却加工が可能
－120℃まで冷却可能
DigitalMicrograph® デジタルズームカメラ
5メガピクセルデジタルカメラ
LED照明（2色）
DM取得、PCとPIPS™IIのリンク
完全プログラム化可能－GUIまたはPCから－
DigitalMicrograph® に保存された画像（1画像 / 回転画像）
仕様・オプション
| イオン源 | |
|---|---|
| イオン銃 | 低エネルギー集束電極 ペニング形イオン銃2式 |
| ミリングアングル | -10°～+10° 調整可能 |
| イオンエネルギー | 100 eV ～8 keV |
| イオン電流密度 | 1イオン銃あたり 10 mA/cm2 |
| ビーム軸合わせ | 蛍光板を用いた精密なビームアライメント |
| ビーム調整 | ガス流量か放電電圧にて調整 |
| 試料室 | |
| 試料サイズ | 3 mm |
| 試料回転 | 1～6 rpm まで可変 |
| 試料取り付け | 片面ポリシング用試料台/両面ポリシング用試料台 |
| X,Y可動範囲 | ±0.5 mm |
| 試料観察 | 双眼顕微鏡、デジタルズームマイクロスコープ（オプション） |
| 真空系 | |
| ドライポンプシステム | 2ステージダイヤフラムポンプ (背圧) 80 L/秒 |
| 到達圧力 | 到達圧力6.6×10-4Pa、動作圧力1×10-3Pa |
| 真空計 | 試料室：冷陰極タイプ |
| 試料交換 | Whisperlok® エアロック方式 (所要試料交換時間：1分以下) |
| 外観など | |
| 寸法／重量 | 495 mm (W) × 547 mm (D) × 615 mm (H) 45kg |
| 電源 /使用電力 | 単相AC 100 V、50/60 Hz、200 W |
| ガス | アルゴンガス：G1 (99.9999%) 推奨 設定圧力：0.15 MPa |
液体窒素冷却ステージの仕様
| 冷却源 | 液体窒素 |
|---|---|
| デュアーの容量 | 336mL |
| デュアーの保持時間 | 約6～7時間 |
| コントローラ | 設定温度をGUI操作・表示 |
| ヒーター1 | ステージの温度調整用 (-120°C～+25°C) |
| ヒーター2 | 冷却したステージを室温戻し用 |
| 温度検出 | シリコンダイオード |
| 温度領域 | -120°C～室温 |
| 試料冷却 | -120°Cまで可能 |
「DigitalMicrograph®」「Whisperlok®」は(米)Gatan社の製品です。
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