28nm~22/20nm ノードマスク ・ レチクル制作用可変成形電子ビーム描画装置です。
最先端技術で高速、高精度、高信頼性を実現しています。
加速電圧50 kVの可変成形ビームとステップ&リピートステージ方式を基本とした描画装置です。
特長
ステップ & リピート描画方式のメリットを生かし、描画ドーズ量変調機能、重ね描画機能等を組み合わせることにより、次世代マスク/レチクルのパターニングに求められる多種多様な補正に対応することができます。
導入実績
国内外のキャプティブマスクショップとマーチャントマスクショップ。
仕様・オプション
つなぎ精度 | ≦±3.5nm |
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重ね合わせ精度 | ≦±5nm |
アプリケーション
JBX-3200MVに関するアプリケーション
電子ビーム描画装置JBX-3200MV/JBX-3050MV/JBX-9500FS/JBX-6300FS