Stage Linkage CLEM - miXcroscopy™ 光学顕微鏡/走査電子顕微鏡リンクシステム -
特長
光学顕微鏡と走査電子顕微鏡の試料ホルダを共通化し、ステージ情報を専用のソフトウェアで管理することにより、光学顕微鏡で観察した箇所をシステムに記憶させ、同一視野を走査電子顕微鏡でさらに拡大して微細構造観察ができるようになりました。
光学顕微鏡で観察ターゲットを見逃すことなく、シームレスに走査電子顕微鏡で観察することが可能となり、光学顕微鏡像と走査電子顕微鏡像との比較検証がよりスムーズで容易にできるようになりました。
システムの概要
対応機種
走査電子顕微鏡：JSM-IT800HL、JSM-IT800SHL
電子プローブマイクロアナライザ：JXA-iSP100、JXA-iHP200F
色情報を付加したより直観的な観察・データ取得
SEM観察では得られない光学顕微鏡の色情報をSEM像に付加することで、より直感的な視覚効果を与えることができます。
試料: カラーレーザープリンタの印刷面
OM像、SEM像の重ね合わせにより、個々のトナー粒子の色が特定できます
光学顕微鏡の特長を生かしたスムーズな位置同定
光学顕微鏡で観察することで、SEM観察では認識しづらい構造の位置同定をスムーズに行うことができます。
試料: 鉱物切片
カラー画像でしか視認し難い観察位置をさらにSEMで観察
電子線による試料へのダメージを防止
電子線による損傷やコンタミを防ぐために、光学顕微鏡で観察位置の同定をあらかじめしておき、最低限の電子線照射でSEM観察を行うことができます。
応用例: モンタージュによる大容量画像データの構築
