Image Overlay CLEM - 光学顕微鏡像連動ソフトウェア -
特長
光学顕微鏡（LM）の画像を走査電子顕微鏡（SEM）画面上に半透明でオーバーレイ表示し、位置合わせを行うCLEMです。
光学顕微鏡像連動ソフトウェアをSEMにインストールするだけで、LMの種類を問わず、様々なLM像を容易にSEM像と相関させることができます。
「光学顕微鏡で見つけた目標物を素早くSEMで観察と分析がしたい。」「変色など色の違う箇所を確認しながらSEMで解析したい。」という多くのSEMユーザーの要望にお応えします。
光学顕微鏡像連動ソフトウェア Workflow
実体顕微鏡 (LM)
高倍観察で目標物を観察
アライメント用画像を保存
走査電子顕微鏡 (SEM)
SEM操作画面上の光学顕微鏡像連動ソフトウェア
光学顕微鏡像連動ソフトウェアを用いて、アライメント用画像を操作画面上のSEMライブ像上に重ね合せし、アライメント用画像の中心にステージ移動させる
倍率を上げて、目標物を拡大観察