FEATURE

FEATURE1 FE-SEMならではの高分解能像

インレンズショットキーPlus 電界放出電子銃

電子銃と低収差コンデンサーレンズの融合により高輝度化を実現。低入射電圧でも十分な照射電流が得られ、高分解能観察から光速度元素マッピング分析まで行えます。

一般形ショットキーFEG インレンズショットキーPlus FEG

ハイブリッドレンズ（HL）

電磁場重畳型対物レンズ “ハイブリッドレンズ(HL)” を搭載、磁性体材料から絶縁体試料まで、あらゆるサンプルを高空間分解能で観察・分析することができます。

通常モード HLモード BDモード

※BD（Beam Deceleration）：
試料ステージにバイアス電圧を最大-2 kV まで印加することで、入射電子を試料直前で減速させます。特に低入射電圧での空間分解能とS/N 比が向上します。

FE-SEMならではの、ナノ構造の観察が可能です。目的に適した観察条件や検出器を選ぶことで、様々な試料において特徴あるSEM像を取得することができます。

  • -10nm

    試料：カーボン上のPtナノ粒子、入射電圧：20kV、WD：2mm、観察モード：BD、検出器：UED

  • -10nm

    試料：電球導入線、入射電圧：10 kV、WD：6mm、観察モード：LV、検出器：LVBED

  • -10nm

    試料：シールテープ、入射電圧：0.5 kV、WD：2mm、観察モード：BD、検出器：UED

  • -10nm

    試料：マウス糸球体の超薄切片、入射電圧：5kV、WD：4mm、観察モード：BD、検出器：RBED（コントラスト反転）

LV（低真空機能）※オプション：
低真空機能により帯電しやすい試料に対しても観察から分析まで、導電コーティングをせずに簡便に実施可能です。

FEATURE2 革新の操作性

光学像、SEM像、EDS分析が一体となり、測定のスループットが飛躍的に向上します。

Zeromag 光学像からSEM像へシームレスに移行 Live Analysis 視野探し中でも常にスペクトルをモニター可能

FEATURE3 光学像、SEM像、EDS分析結果が自動リンク
SMILE VIEW™ Lab

日本電子の分析機器が採用している新たなデータ管理システム”SMILE VIEW™ Lab”とリンク。 データ管理、解析、報告書作成に便利です。

※ ACL（開き角最適化レンズ）：
開き角最適化レンズは、対物レンズの上方に位置し、対物レンズの開き角を全電流範囲（1 pA-300 nA）にわたり自動的に最適化します。電流量を大きくした場合でも入射電子の広がりを抑え、常に最小のプローブ径を維持します。高分解能観察から大電流条件での分析まで、幅広い照射電流の変化に対してもスムーズなオペレーションが可能です。

NEW FUNCTION

NEW FUNCTION 1 人工知能をSEMに搭載　
LIVE-AIフィルター （Live Image Visual Enhancer – AI: LIVE-AI）※オプション

ライブ像をみやすくする新開発のLIVE-AI （人工知能）フィルターを搭載しました。積算処理とは異なり、残像なく追従性の良いライブ像を表示できるため、視野探しやフォーカス，非点の調整の際に非常に有効なフィルターです。

ライブ像の比較

  • 通常時
    -10nm
  • LIVE-AIフィルター使用時
    -10nm

試料：蟻の外骨格、入射電圧：0.5 kV、検出器：SED

  • -10nm
  • -10nm

試料：鉄のさび、入射電圧：1 kV、検出器：SED

NEW FUNCTION 2 広領域を自動測定できるモンタージュ

領域と条件を指定するだけで、各々の視野を自動測定し、位置ずれまで補正した広領域のモンタージュ像を取得することができます。取得したモンタージュ像をデジタルズームすることで試料細部の情報まで追うことが可能です。さらに、EDSによるモンタージュ元素MAPも並行して取得できるため、オペレーターの手を介さずに多くの情報を自動で残すことができます。

NEW FUNCTION 3 様々な試料に対応、光学像も取得できる試料交換方式

大型試料交換に適したドローアウトを標準構成とし、光学像も取得できるため視野探しやデータ管理を早く、より楽にします。オプションの試料交換室を搭載すれば、スピーディーでクリーンな試料の出し入れが可能です。