ABOUT


NONSTOP FEATURE
FEATURE 1 Zeromag/LiveAnalysis
●Zeromagで…
光学像で視野探しを行い、像を拡大するとSEM像に切り替わるので
観察対象の高倍率SEM像に素早く到達できます。
●LiveAnalysisで…
元素分析結果が高倍率観察中にも常に表示されます。
高倍率観察とEDS分析を分けて考える必要がなくなります。
FEATURE 2 Montage
●Mongtageで…
広領域の異物の把握や破面解析など、広い領域に対して細かい情報が得られます。全体像が把握できるZeromagにより、広領域モンタージュの視野選択が容易に行えます。試料全体の情報の共有が可能です。
FEATURE 3 Report
●SMILE VIEWTM Labで…
ステージ位置に連動したCCD画像、SEM像、EDS分析結果等のデータを関連付けた状態で保存し、一元管理できます。過去に取得したデータの見直しや再解析、レポートへの展開も簡単に行うことができます。
SCENE
Scene1
小型化した製品の
トラブル早期解決に
科学の進歩に伴い、小型化していく製品。
JSM-IT500HRを使った解析で、小型化した製品のトラブルを早期解決し、歩留まり向上が期待できます。
Scene2
ルーチンワークにJSM-IT500HR
製品の全数検査や広領域の異物検査など、長い時間がかかるルーチンワーク。Montageを使った自動撮影と、多視野に渡る分析で、時間の有効活用が見込めます。
Scene3
管理が楽になるJSM-IT500HR
一つの装置を大人数での使用する際の教育やメンテナンスなど、装置管理者の負担を軽減します。装置管理者が、集中して自身の実験を行えます。