走査電子顕微鏡 基本用語集

走査電子顕微鏡(SEM)の基礎となる理論、装置、試料作製法、観察手法、分析手法に関する用語 約550語を収録しました。
用語集のほかに、SEMを使っていく上で理解しておくことが望ましい原理、試料作製の基本、元素分析の基本をまとめた概説“走査電子顕微鏡A to Z”も記載してあります。

(製作) 日本電子株式会社

概説走査電子顕微鏡A~Z (PDF 4.39 MB)

目次

検索ボックスを使って用語を調べる事が出来ますが、索引を使って検索する方が簡単です。目次には、用語を理論、装置、試料作製、観察手法、分析、その他のカテゴリーに分けて、説明してあります。

追加・更新された用語

2016年05月31日 update 二次電子検出器
2016年05月31日 update 対物レンズ絞り
2014年02月05日 update 電界放出電子銃
2014年02月05日 update ZrO/Wエミッタ
2012年12月04日 update ダイナミックフォーカス