反射電子検出器の位置による試料情報の違い

従来、反射電子検出器は対物レンズ直下に置かれるか、二次電子検出器を反射電子検出器として利用していました。しかし最近のSEMでは従来の反射電子検出器に加えて、対物レンズより上の位置に置かれる反射電子検出器が登場しています。本資料では JSM-7001FTTLS の反射電子検出器の位置の違いによる反射電子像の違いを解説します。