電子ビーム描画装置 (可変／スポット)
コンピューターやスマートフォン、家電製品などの電子機器には、LSI (大規模集積回路) と呼ばれる半導体部品が組み込まれています。微細化、高密度化の進展でLSIの回路は非常に微細なパターンで描かれるようになり、現在では最小10ナノメートル (毛髪の1万分の1) 以下までに達しています。
このような超微細な回路を精密に加工するために必要なのが、電子ビーム描画装置です。
IoT社会の実現や5G時代の到来などにより、半導体の需要がさらに拡大していく中で、電子ビーム描画装置が果たす役割も高まっていくことが期待されています。
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