JAMP-9510Fフィールドエミッションオージェマイクロプローブ

ナノからマイクロ領域の化学結合状態分析をハイスループットで実現する静電半球型アナライザー、EPMAにも採用されている安定した大電流を供給するフィールドエミッション電子銃を備えたハイスペックなオージェ電子分光装置です。
不可能とされていた絶縁物分析を可能とした高精度ユーセントリック試料ステージとフローティング型イオン銃を備えることにより、金属試料から絶縁物試料まで、組成情報から化学情報まで、サンプルを選ばない汎用性を実現しました。

特長

高感度・高分解能アナライザ

エネルギー分解能可変のアナライザを搭載することにより、高分解能モードによる化学結合状態分析と高感度モードによる高速マッピングの両立を実現しました。

ショットキーフィールドエミッション電子銃

SEMやEPMAにも採用されているショットキーフィールドエミッション電子銃に日本電子が長年培ってきた電子光学技術を組み合わせることにより、空間分解能3nmの像観察と、大電流200nAによるハイスループット化学結合状態分析を両立させた電子銃です。

ユーセントリック試料ステージ

複数の光学系をもつ分析機器に欠かせないユーセントリックステージの採用により、一度の高さ合わせで高精度な高さ中心再現性を実現。90°までの自由な傾斜により難しい絶縁物分析も可能に。

高い耐久性

長寿命を目指した設計コンセプトにより、イオン銃フィラメント&電子銃のエミッタの交換によるランニングコストを低減。

ソフトウェア

波形分離ソフトウェアを用いることで、ワンクリックで解析者を悩ませるオージェピーク重なりの分離も実行でき、複雑な化学結合状態解析もできます。

マップ再構築ソフトを用いることで、測定終了後のP/B再設定、積算中の時間変化のトレースなど多彩な解析ができます。

仕様・オプション

電子照射系
二次電子分解能	3nm（25kV、10pA）
オージェ分析時の最小プローブ径	8nm（25kV、1nA）
電子銃	ショットキー電界放出形
加速電圧	0.5～30kV
プローブ電流	10-11～2×10-7A
倍率	25～500,000倍
オージェ電子分光器
アナライザー	静電半球形アナライザー（HSA）
エネルギー分解能（ΔE/E）	0.05％～0.6％
感度	840,000cps（7チャンネル検出器） Cu-LMM、10kV、10nA
検出器	チャンネルトロンによる多重検出
イオン銃
加速電圧	0.01～4kV
イオン電流量	3kVで　2μA以上（吸収電流値）、 10Vで　0.03μA以上
中和機能	組込み
試料ステージ
移動範囲	X.Y軸：±10mm、Z軸：±6ｍｍT軸：0～90°、 R軸：360°（エンドレス）
試料サイズ	最大　20ｍｍφ×5ｍｍＨ
真空排気系
試料室到達圧力	5×10-8Pa以下
ベークアウトシステム	内部ヒータ組込み、自動制御
アプリケーション
データ収集	スペクトル、デプスプロファイル、ラインプロファイル、オージェ像、二次電子像、広域マップ分析（オプション）、スケジューリング分析（オプション）
データ処理	定性・定量分析、微分・平滑化、画像処理、テキスト入力、ピーク分離ソフト（オプション）