JPS-9030光電子分光装置(XPS)

日本語環境で操作できる新設計のユーザーインターフェースを採用し、「誰もが、簡単に、直ぐに使えること」を実現しました。また、カウフマン型エッチングイオンソースやツインアノードを標準装備の上、汎用XPSでありながら高温加熱システムやガスクラスターイオンソース等幅広い拡張性も備えています。

特長

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nmからμmまで幅広い目的に対応したデプスプロファイル (深さ方向分析) が可能

新開発カウフマン型エッチングイオンソースにより、エッチングレートが1 nm / min ～ 100 nm / min (SiO₂換算) と幅広い設定が可能となり、表面の清浄化はもちろんのこと、精密さを必要とする測定からスピード重視の測定まで、あらゆる目的に対応したデプスプロファイルが可能となりました。
また、イオンソースを試料交換室に搭載することにより、測定室内を汚さない高いメンテナンス性を実現しました。

JPS-9030のエッチング機構
(試料準備室内でのエッチング)

JPS-9030に搭載された
カウフマン型イオン源

Arイオン加速電圧とエッチングレート

使いやすさを追求した新開発ソフトウェア

日本語に対応した新開発ソフトウェアSpecSurf Ver.2.0は、リボンインターフェースとタブウィンドウシステムの組み合わせにより、マウスのみによるユーザーフレンドリーな操作環境を提供します。
また、JEOL独自の自動定性機能により、複数の測定位置における定性・定量および化学状態分析がシーケンシャルに実行可能です。

ハイエンド機に匹敵する超高感度

角度分解測定法 (ARXPS) や全反射測定法 (TRXPS) に対応しており、1 nm (標準測定法6 nm以上) 以下における極表面をハイエンド機にも匹敵する超高感度で分析できます。

豊富なオプション

エネルギー分解能を向上させる単色化X線源
ダメージを受けやすい有機物試料に適したArガスクラスターイオンソース
1,000 °C 以上まで加熱可能な赤外線加熱システム
非曝露試料に対応するトランスファーベッセル

等の豊富なオプションを用意し、お客様のあらゆるニーズにお応えします。

XPSで分析できること

最表面元素分析

XPSは、試料最表面 (10 nm 以下) での元素分析が可能です。
そのため、見た目で判断しづらい有機汚れも簡単に分析することができます。

汚れていないPET (左) と、
表面にシリコーンが付着したPET(右)

PET、シリコーン付着PETのC 1sスペクトル

化学結合状態分析

XPSでは元素分析に加え、化学結合状態分析も可能です。
例えばリチウムイオン電池では電極上に存在するLiが、どのような化合物であるかを評価することができます。

リチウムイオン電池の構造

各種Li化合物のLi 1sスペクトル

深さ方向分析

XPSを用いた深さ方向分析を行うことで、10 nm程度の極薄試料から数μmの厚さを持つ試料まで層構造の評価、界面における化学結合状態の評価が可能になります。

ガラス表面の反射防止膜模式図

反射防止膜の深さ方向分析結果

仕様・オプション

感度（Mg Kα、300 W換算）	1,000,000 cps以上（Ag 3d5/2の半値幅1.0 eV時）
X線源	最大12 kV、50 mA、Mg / Alツインターゲット
入射レンズ	3段円筒型静電レンズ
エネルギーアナライザ	静電半球型アナライザ
エネルギー掃引方式	Constant Analyzer EnergyおよびConstant Retarding Ratio方式
検出器	マルチチャンネルプレート
エッチングイオン銃	高速カウフマン型
到達圧力	7×10-8 Pa以下
ベークアウトシステム	内部ヒータ組込み、自動制御