成膜関連機器 (電子銃／プラズマ源／他)
蒸着装置、蒸着コンポーネンツ、溶射コンポーネンツです。
低ダメージで、高品質な膜を成膜できることが特長です。
製品一覧
電子銃・ボンバード蒸着源 (真空蒸着用)
プラズマ源 (成膜アシスト／改質用)
水晶式膜厚センサー (成膜レート計測用)
電子ビーム蒸着装置 (研究開発用)
粉末供給装置 (溶射等成膜用)
TECHNOLOGY / CASE STUDY 技術・事例
インタビュー、導入事例、開発秘話の形式で、ユーザーの皆様からいただいた声をご紹介します。現在の課題について解決のヒントが得られるかもしれません。ぜひ、ご覧ください。
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