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特長 STRONG POINT

JSM-7610F ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡
JSM-7610Fはセミインレンズ方式の高分解能ショットキー形フィールドエミッション走査電子顕微鏡です。 照射系にはHigh Power Opticsを採用し、高速・高精度の元素分析を行うことが可能です。 また、高空間分解能元素分析にも適しています。 さらに、ジェントルビームモードにより数百eVの極低加速電圧で試料最表面の観察が可能です。

セミインレンズによる高分解能観察、分析

低加速電圧でも電子線を細く絞れるセミインレンズ方式の対物レンズと、大電流が安定して得られるインレンズショットキー電子銃を組み合わせることにより、高分解能観察と高空間分解能分析を両立しました。
また、インレンズショットキー電子銃はエミッタの寿命が長く、エミッタは3年間保証です。
 

ジェントルビームモード (GB) による低加速電圧での最表面観察

ジェントルビームモード(GBモード)は試料にバイアス電圧を印加して電子ビームを照射することにより、通常モードよりも分解能が向上します。これにより、従来では高分解能観察が難しかった数百eVの入射電子による試料最表面観察やセラミックスなどの絶縁物、半導体など導電性のない試料の観察ができます。
 

High Power Opticsによる高速・高精度分析

電子光学系にHigh Power Opticsを採用しています。高分解能観察だけではなく、元素分析においても安定した高速・高精度分析が可能となります。開き角自動最適化レンズを搭載しているため、大照射電流時でも細く絞られた電子線が得られ、EDS/WDSによる元素分析、カソードルミネッセンスなどを効率良く測定することができます。
 

応用例

  • 応用1 セミインレンズによる高分解能観察
    Pt触媒
    試料:Pt触媒
    加速電圧:15kV
    カーボンナノチューブのSTEM像
    試料:カーボンナノチューブのSTEM像
    加速電圧:30kV
  • 応用例2 セミインレンズによる高空間分解能分析
    LED断面
    試料: LED断面(100nm以下の多層構造のEDS分析)
  • 応用例3 ジェントルビームモード(GB)による低加速電圧での最表面観察
    フィルター
    試料: フィルター
    加速電圧: 0.5kV
    メソポーラスシリカ
    試料: メソポーラスシリカ
    加速電圧: 0.8kV

仕様 SPEC

二次電子像分解能 1.0nm (15kV) 、1.3nm (1kV) 、分析時 3.0nm (15kV、照射電流5nA)
倍率 ×25~×1,000,000
加速電圧 0.1kV~30kV
プローブ電流 数pA~200nA 
開き角自動最適化レンズ 組込み
検出器 上方検出器、下方検出器
エネルギーフィルタ New r-filter
ジェントルビーム 組込み
試料ステージ ユーセントリック、5軸モータ駆動
  タイプ Type IA2 Type II (オプション) Type III (オプション)
  X-Y 70mm×50mm 110mm×80mm 140mm×80mm
  傾斜 -5°~+70° -5°~+70° -5°~+70°
  回転 360°エンドレス 360°エンドレス 360°エンドレス
  作動距離 1.0~40mm 1.0~40mm 1.0~40mm
排気系 SIP 2台、TMP、RP
 

主なオプション

  • リトラクタブル反射電子検出器 (RBEI)
  • 低角度反射電子検出器 (LABE)
  • 透過電子検出器 (STEM)
  • ステージナビゲーションシステム
  • イオン洗浄装置
  • エネルギー分散形X線分析装置 (EDS)
  • 波長分散形X線分析装置 (WDS)
  • カソードルミネッセンス (CL)
  • 各種試料ホルダ

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