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特長 STRONG POINT

JIB-4000PLUS 集束イオンビーム加工観察装置

JIB-4000PLUSは高性能イオンカラムを搭載した集束イオンビーム加工観察装置(シングルビームFIB装置)です。加速したGaイオンビームを集束し試料に照射する事で、試料表面のSIM像観察、ミリング加工、カーボンやタングステンなどのデポジションが行えますので、TEM観察のための薄膜試料や試料内部を観察するための断面試料の作製が可能です。また、三次元観察機能、自動TEM試料作製機能を搭載できますので、試料作製の多様なニーズにお答えします。

High Power FIBカラム

JIB-4000PLUSは、イオンビームの最大電流値が60nAのHigh Power FIBカラムを採用しています。さらに、オプションで最大電流値を90nAまで拡張できます。最大ビーム電流の向上により、試料作製時間の短縮、より広領域の試料作製が可能になりました。100μmを超える幅広い断面試料も短時間で作製できます。

100μm径のハンダバンプの断面試料作製と断面観察

図1 100μm径のハンダバンプの断面試料作製と断面観察

親しみ易いFIB装置

JIB-4000PLUSは、High Power FIBカラムを使い易い操作性でまとめました。親しみ易いFIB装置をコンセプトに装置外観デザインとGUIデザインを設計しています。FIB装置を使われた事のない方でも簡単に扱えるオープン化指向の装置です。また、装置サイズも業界最小クラスのコンパクトサイズですので、設置場所の選択範囲が広がります。

ツインステージ

JIB-4000PLUSは、バルク試料を扱うバルク試料モーターステージが標準装備されています。さらに、TEM用のチップオンホルダを直接挿入可能なサイドエントリーゴニオメータステージが追加可能です。サイドエントリーゴニオメータステージはJEOL製TEMと共通ですので、FIB加工とTEM観察の繰り返しが容易に行えます。

三次元観察機能

三次元観察を行うための連続スライス断面観察機能が標準機能になりました。
JIB-4000PLUSは、シングルビームFIBでありながら、SIM像による三次元観察が行えます。オプションの三次元再構築ソフトウェアにより、収集した断面画像を三次元画像に再構築でき、さまざまな角度から三次元画像を表示できます。

CCDイメージセンサーの三次元再構築像

図2 CCDイメージセンサーの三次元再構築像

自動TEM試料作製機能

JIB-4000PLUSは、オプションの自動TEM試料作製機能"STEMPLING"が適用可能です。
この機能により、試料作製に高度なスキルは必要なくなりました。誰でも簡単に試料作製が行えます。また、複数試料の自動作製が行えますので、夜間に大量の試料作製を行うなど、作業効率の最適化が実現できます。

自動TEM試料作製機能(STEMPLING)の加工例 試料:シリコンウエハー

図3 自動TEM試料作製機能(STEMPLING)の加工例 試料:シリコンウエハー

豊富なアタッチメント

JIB-4000PLUSでは、操作をサポートする様々なアタッチメントを揃えています。回路修正のアプリケーションに有効なCADナビゲーションシステムや特殊形状の加工に有効なベクタースキャンシステムなどがあります。JIB-4000PLUSは、適切なアタッチメントを追加して頂く事で、試料作製用途以外のアプリケーションにも対応可能です。

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カタログ

仕様/オプション SPEC / OPTION

FIB

イオン源 Ga液体金属イオン源
加速電圧 1-30 kV
倍率 ×60 (視野探し用)
×200~×300,000
像分解能 5nm (30kV時)
最大ビーム電流 60nA (30kV時)
90nA (30kV時)※オプション
可動絞り 12段 (モータ駆動)
イオンビーム加工形状 短形、ライン、スポット

試料ステージ

試料ステージ バルク試料用5軸ゴニオメータステージ
可動範囲 X: ±11 mm
Y: ±15 mm
Z: 0.5 ~ -23 mm
T: -5 ~ +60°
R: 360° エンドレス
最大試料サイズ 28 mmφ (高さ13 mm)
50 mmφ (高さ2 mm)

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